„… Leiterbahnen innerhalb einer Ebene gemeinsam auf. Das heißt, Diffusionsbarrieren existieren nur oberhalb der …” „… verbundenen Leiterbahnen und Vias ihre Knoten. Für indirekt über die Diffusionsbarriere verbundene Elemente …” „… Diffusionsbarrieren unterhalb der Vias mit der darunterliegenden Verdrahtungsebene zusammengeführt. In (b) entstehen …”

„… Diffusionsbarrieren an den Enden der Leiterbahn. Der Fokus der zu integrierenden EM-Analyse liegt hingegen auf der …”

„… Diffusionsbarrieren in den Hauptdiffusionspfad der Atome einbringen. Bei dieser Maßnahme ist jedoch ungeklärt, ob die …” „… Atome der zusätzlichen Diffusionsbarriere in den Lower-Lead-Konfigurationen ausweichen und sich dadurch …” „… , ob sich die Migration durch die zusätzliche Diffusionsbarriere entlang der restlichen Diffusionspfade …”

„… Deckschicht Barriereschicht Abb. 2.6: Leiterbahn hergestellt im Dual-Damaszene-Prozess. Diffusionsbarrieren …” „… EM-Robustheit zu erhöhen, indem Materialien wie Kobalt in die Diffusionsbarrieren eingebracht werden. Die …”

„… mindert deren Haftfähigkeit. Siliciumcarbid-(SiC)- Zwischenschichten können als Diffusionsbarriere für …” „… ; a) Cobalt aus der Randzone geätzt; b) mit SiC-Zwischenschicht als Diffusionsbarriere. Bild …” „… Substrattemperaturen um weitere 100 °C auf TSub,Diamant2 = 640 °C gesenkt sind, als effizientere Co-Diffusionsbarriere …”

„… Diffusionsbarriere (Metal Liner) im Graben (Trench) und die, meist dielektrische, Deckschicht (Dielectric Cap …” „… verhindern [UON+96]. Die Diffusionsbarriere wird im geätzten Graben oder Kontaktloch im Dielektrikum …” „… . Außerdem kann die Diffusionsbarriere somit zum Stromfluss beitragen, was insbesondere bei Fehlern durch …”

„… der Diffusionsbarriere, ACu die Querschnittsfläche der Leitbahn und Ab die Querschnittsfläche der …” „… in Bild 5.31 schematisch dargestellt. Dielektrikum (z. B. SiO2) Metall (Cu) Diffusionsbarriere (Metal …” „… . Deshalb wären die Ansprüche, die an die Diffusionsbarrieren zu stellen sind, wesentlich höher. Wolfram …”

„… Werkstoffen, zwischen Metall und Diffusionsbarriere oder Dielektrikum, in der Regel geringer als innerhalb des …”

„… , Diffusion, Diffusionsbarriere, Chalkopyrite, Cu(In,Ga)(S,Se)2, in-situ Analyse Das Ziel der Arbeit besteht …” „… des Prozesses zu schützen, wurde eine Mo-N Diffusionsbarriere entwickelt. Bibliographische …”

„… Breitband-Lambdasonde, aus [106]: (1) Abgas, (2) Pumpzelle, (3) Elektroden, (4) Messkammer, (5) Diffusionsbarriere, (6 …” „… eine Diffusionsbarriere mit dem Motorabgas verbunden ist. Durch das Anlegen einer Spannung an die …”