@incollection{2020:hald:titeleiin, title = {Titelei/Inhaltsverzeichnis}, year = {2020}, note = {}, booktitle = {Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen}, pages = {I--VIII}, edition = {1}, author = {Hald, Axel}, publisher = {VDI Verlag}, address = {Düsseldorf}, series = {Rechnerunterstützte Verfahren}, volume = {473} }