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Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler Schaltungen

Matthias Thiele

Reihe: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik

Band 395 2017

Treffer in den folgenden Teilen:

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-X

„… Nanotechnik Reihe 9 Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler …” „… Schaltungen Technische Universität Dresden Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen …” „… Fortschritt-Berichte VDI Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler …”

Zielstellung der Arbeit S. 36-39

„… 3 Zielstellung der Arbeit 3.1 Hintergrund und Fragestellungen Elektromigration (EM) tritt heute als …” „… immer stärker von Elektromigration betroffen sein werden. Deshalb muss die Berücksichtigung von EM in …” „… Entwicklung der Strukturverkleinerung und den möglichen Einflussfaktoren auf die Elektromigration sind in …”

Grundlagen S. 7-35

„… 2 Grundlagen 2.1 Elektromigration 2.1.1 Allgemeines zur Elektromigration Elektromigration (EM) ist …” „… Stoffflus- 8 2.1 Elektromigration ses zu bestimmen. Daraus ergeben sich die Orte mit Materialanreicherung …” „… empirisch definiert und lassen sich nur durch statistische Untersuchungen bestimmen. 10 2.1 Elektromigration …”

Einleitung S. 1-6

„… Elektromigration (EM) auf, ein Diffusionsprozess in metallischen Leitern, der durch Impulsübertragung der …” „… Schaltkreise sind Maßnahmen gegen Elektromigration, wie stromabhängige Verdrahtung oder die Anpassung der …” „… resultierender Elektromigration betroffen. In diesen Schaltungen können die beim Analogentwurf üblichen Methoden …”

Methoden für EM-robuste digitale Schaltungen S. 47-101

„… die im Abschnitt 2.2.4 genannte negative Rückkopplung zwischen Elektromigration und Stressmigration …” „… . Der Stofftransport aufgrund der Elektromigration sorgt dafür, dass die Leerstellenkonzentration am …” „… : blau, gelb, orange, rotorange, rot) ist. In diesem Fall wirkt sie dem Stofffluss der Elektromigration …”

Glossar S. 132-133

„… hergestellt wird Elektromigration (EM) Diffusionsprozess, der durch hohe elektrische Stromdichten ausgelöst …”

Gesamtzusammenfassung und Ausblick S. 125-131

„… ist die Elektromigration (EM). Somit erzeugt die Berücksichtigung von EM zusätzliche Randbedingungen …”

Ausgewählte Untersuchungen S. 102-124

„… sinnvoll. Zusammenfassend ist festzustellen, dass die bisher vorhandenen Modelle für die Elektromigration …”

Entwicklungstrends bei digitalen Schaltungen S. 40-46

„… Elektromigrationsprozess (siehe Abschnitt 2.1.3). Größere Temperaturänderungen sind nur mit hohem Aufwand (externe Kühlung …”

doi.org/10.51202/9783186395092

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Erhöhung der Elektromigrationsrobustheit in der Verdrahtung digitaler Schaltungen

Steve Bigalke

Reihe: Rechnerunterstützte Verfahren

Band 472 2020

Treffer in den folgenden Teilen:

Glossar S. 143-144

„… die Vias und die darüberliegenden Leiterbahnen gemeinsam abgeschieden werden. Elektromigration ist ein …” „… vergleichbaren Gleichstrom für die Elektromigration mit Berücksichtigung einer unvollständigen Selbstheilung …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XIV

„… – Elektromigration – Verdrahtung Studien zur zukünftigen IC-Entwicklung sagen einvernehmlich voraus, dass die …” „… Zuverlässigkeit zukünftiger integrierter Schaltungen (ICs) stark durch das Auftreten von Elektromigration (EM …” „… Dual-Damaszene-Prozess EM Elektromigration FE Finite-Elemente FEM Finite-Elemente-Methode GCell Globale Zelle IC …”

Index S. 145-146

„… Elektrische Feldstärke 9, 11 Elektromigration 2, 8, 39, 43, 71, 100, 138 Elektromigrationskraft 9 …”

Zielstellung der Arbeit S. 39-42

„… Signalleitungen ebenfalls durch Elektromigration (EM) ausfallen und mittlerweile eine vergleichbare Lebensdauer …”

Gesamtzusammenfassung, Schlussfolgerung und Ausblick S. 138-142

„… das Auftreten von Elektromigration (EM) gefährdet. Der Grund ist die anhaltende Strukturverkleinerung …”

Einleitung und Motivation S. 1-7

„… Materialtransporten entstehen. Vor allem die Elektromigration (EM) - ein Materialtransport ausgelöst durch den …”

Literatur S. 147-164

„… . Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler Schaltungen. Düsseldorf: VDI …” „… demChip - Elektromigration in digitalen Schaltungen”. In: Elektronik WEKA Fachmedien (Feb. 2002), S. 32–36 …”

EM-Modellierung von digitalen Verdrahtungsstrukturen S. 43-70

„… Kompensation von Elektromigration (EM) in den Signalnetzen fehlt es an geeigneten Gegenmaßnahmen für die …”

Maßnahmen zur EM-Vermeidung S. 71-99

„… Elektromigration (EM), welche sich in der Verdrahtung von digitalen, integrierten Schaltungen (engl. integrated …”

EM-Berücksichtigung im Layoutentwurf S. 8-38

„… der Elektromigration (EM) und deren Einflussfaktoren, da die in dieser Arbeit entwickelten Analyse …” „… Anodenbereich mit Atomen angereichert wird [Big+18b]. Die resultierende Elektromigrationskraft (FEM) ergibt sich …”

EM-robuste Verdrahtung S. 100-137

„… , welche die Robustheit eines Layouts gegenüber Elektromigration (EM) erhöht, indem es die vorgestellten …”

doi.org/10.51202/9783186472205

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