VDI Verlag eLibrary

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Axel Hald

Reihe: Rechnerunterstützte Verfahren

Band 473 2020

Treffer in den folgenden Teilen:

Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung S. 115-131

„… 7 Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung Für …” „… bildet das dynamische Verhalten durch eine Sequenz von (quasi-statischen) Elektrostatik-Analysen ab …” „… . Dabei repräsentiert eine einzelne Elektrostatik-Analyse innerhalb der Sequenz einen Auslenkungs-Zustand …”

Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3DField- Solvern basierenden Elektrostatik-Analyse S. 51-70

„… Elektrostatik-Analyse Für die Entwicklung zuverlässiger und robuster MEMS-Elemente ist eine neue Methode für die …” „… Elektrostatik-Analyse notwendig. Damit sich zuverlässige Aussagen über die elektrostatischen Eigenschaften eines …” „… hochoptimierter MEMS-Elemente. Ein naheliegender Ansatz wäre, eine hochgenaue Elektrostatik-Analyse mit einer …”

Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung S. 132-137

„… 8 Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler …” „… Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung Die quasi-elektrostatische Analyse (Kapitel 7) kann man …” „… Zustände Ausgelenkte Zustände Elektrostatik-Analyse Strukturerkennung Regelbasierte Stukturerkennung …”

Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben S. 138-140

„… genaue 3D-Field-Solver-basierte Elektrostatik-Analyse liefert (Abb. 9.1, Mitte). Durch die entwickelte …” „… genaue Elektrostatik-Analyse von MEMS-Elementen einzusetzen. Die 2,5D-Prozess- Simulation wurde in dieser …” „… Polygone beschrieben. Dies führt dazu, dass sich die Polygone in einer Elektrostatik-Analyse nur den in der …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-VIII

„… Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen SE …” „… RV ER Technische Universität Dresden Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in …” „… – Elektrostatik-Analyse – MEMS-Entwurf – Field-Solver – polygonbasierter Entwurf – parasitäre Kapazität – Prozess …”

Präzisierung der Aufgabenstellung S. 48-50

„… Elektrostatik-Analyse notwendig. Hierfür werden in dieser Arbeit Methoden zur Modellierung von MEMS-spezifischen …” „… Elektrostatik-Analyse der Chip-Geometrie mit einem kommerziellen 3D-Field-Solver ermöglichen (Abb. 4.1, Mitte (blau …” „… Regeln Daten Prozess 3D-Modell für Elektrostatik-Analyse Elektrostatik-Analyse …”

MEMS-Entwurf S. 25-47

„… ) eingesetzten Methoden allgemein beschrieben. In Abschnitt 3.3 ist die Elektrostatik-Analyse als Bestandteil des …” „… dieser Arbeit für die Entwicklung neuer Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in …” „… ) - Elektrostatik-Analyse Mechanik-Entwurf Chip-Entwurf Spezifikation System- Simulationen - Schaltplan - Simulation …”

Einleitung S. 1-9

„… Elektrostatik-Analyse überprüft werden. Falls die parasitären Kapazitäten die Anforderungen nicht erfüllen, muss man …” „… Wirksamkeit der vorgenommen Anpassungen ist eine erneute Elektrostatik-Analyse durchzuführen. Die …” „… Elektrostatik-Analyse des MEMS-Elements, die dessen elektrostatische Eigenschaften, bestehend aus Kapazitäten (C) und …”

Methode zur polygonbasierten Schaltplan-Extraktion mit einer regelbasierten Strukturerkennung S. 71-114

„… ). Aus diesem Grund lassen sich bei der Elektrostatik-Analyse mit den bislang verfügbaren Werkzeugen …” „… Elektrostatik-Analyse eines kapazitiven Beschleunigungssensors (vgl. Abb. 1.5) nur die gesamten Koppelkapazitäten …” „… Extraktions- Ergebnissen repräsentiert werden. Dadurch sind die von der Elektrostatik-Analyse extrahierten …”

Glossar S. 141-144

„… Chip-Geometrie berechnen. Diese wird benötigt für die quasi-elektrostatische Analyse dynamischer parasitärer …” „… werden. 22, 115, 141 Elektrostatik-Analyse Die Elektrostatik-Analyse berechnet für eine gegebene Struktur …” „… , 10, 11]. 13 Relative Abweichung Die relative Abweichung bei der Elektrostatik-Analyse beschreibt die …”

Kapazitive MEMS-Inertialsensoren S. 10-24

„… Kapazitäten genau zu charakterisieren, wofür eine präzise und effiziente Methode zur Elektrostatik-Analyse …” „… motiviert sich die Entwicklung neuer Methoden zur Elektrostatik-Analyse, die im Rahmen dieser Arbeit …” „… „Antriebs-Schwingung“ wird durch die elektrostatische Kraft erzeugt, indem man an ineinandergreifende Elektroden-Kämme …”

doi.org/10.51202/9783186473202

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C2 Deutschland

Alle Ausgaben: C2 Deutschland

C2 Deutschland Jahrgang 15 (2021) Heft 89 ISSN Online: 2366-6943

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So einfach zu lesen wie ein Buch! S. 25-26

„… Elektrostatik besser zu verstehen – und damit besser zu erkennen, besser zu kontrollieren und besser zu …” „… das Unternehmen weiter in Richtung Zukunft. Denn Elektrostatik in allen seinen Facetten heute …” „… . Wie Elektrostatik heute am besten eingesetzt werden kann, erklären die Experten von Meech …”

Martin Hirschmann Inmitten von Umzugskisten S. 3

„… readers with analyses of the latest market trends: most recent industry news independently researched …” „… BAHNINSPEKTION, MESS- & PRÜFTECHNIK 22 Der Elektrostatik- Werkzeugkoffer für Profis Eltex-Elektrostatik GmbH …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2021-89

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C2 Deutschland

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C2 Deutschland Jahrgang 16 (2022) Heft 96 ISSN Online: 2366-6943

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„Swiss Quality“ überzeugt die Kunden S. 32-33

„… auch unsere Elektrostatik- und Bahnreinigungs-systeme entwickelt, montiert und in die ganze Welt …” „… Elektrostatik-Komponenten, Bahnrei-nigungsmodule und Schnittstaubabsaughau-ben in der Schweiz gefertigt werden. Unsere …” „… ! Unsere Elektrostatik-Produkte iONstream 4.0 und iONcharge 4.0 sind innert wenigen Arbeitstagen …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2022-96

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VDI-Z

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VDI-Z Jahrgang 163 (2021) Heft 04 ISSN Online: 0042-1766

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Daniel Arnold, Marc Dittrich, Berend Denkena Auftragslokalisierung erhöht die Fertigungstransparenz S. 59-62

„… - und arbeitsgangabhängig erfasst. Dies sorgt für detaillierte Analysen der operativen Vorgänge in der …” „… – Öl- oder Kühlschmierstoffnebel, Stäube und Rauch: Mechanische und elektrostatische …” „… , Großraumbüros, Kantinen und Warteräumen zu empfehlen. Zusätzlich haben elektrostatische Filtrationssysteme …”

doi.org/10.37544/0042-1766-2021-04

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O+P Fluidtechnik

Alle Ausgaben: O+P Fluidtechnik

OUP Jahrgang 68 (2024) Heft 1-2 ISSN Online: 2747-8009

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Philipp Krenkel, Dirk Becker, Timo Lang Verschmutzungsbedingte Ausfälle vermeiden S. 16-18

„… egemaßnahmen genutzt werden. Mit dem Fluid Care Portal bietet Hydac problemorientierte Analysen und …” „… anreichern. Eine weitere Ursache für die Ölalterung sind elektro-statische Entladungen. Neuartige …” „… kann es zu elektrostatischem Au aden kommen.NOTWENDIGE FLUIDPFLEGEMASSNAHMENDie Maßnahmen, um Fluide so …”

doi.org/10.51202/2747-8009-2024-1-2

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wt Werkstattstechnik online

Alle Ausgaben: wt Werkstattstechnik online

wt Jahrgang 114 (2024) Heft 09 ISSN Online: 1436-4980

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Mark Becker, Max Krichenbauer, Simon Höhn, Patrick Springer Dynamik der Wasseraufnahme von PA12-Pulver/Analysis of the moisture behaviour of PA12 powders for selective laser sintering (SLS) S. 545-553

„… ungelöstes Problem ist die Befeuchtung des Pulvers, um die elektrostatische Aufladung zu reduzieren. Klare …” „… analyses the moisture behaviour of PA12, looks at moisture absorption and release and their influence on …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2024-09

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C2 Deutschland

Alle Ausgaben: C2 Deutschland

C2 Deutschland Jahrgang 15 (2021) Heft 85 ISSN Online: 2366-6943

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Überwachung mit „Touch“ S. 35

„… elektrostatischen Ladungen auf Oberflächen. Die Datenprotokollierung bietet auch eine grafische Darstellung der …” „… Leistung, die zur zusätzlichen Analyse exportiert werden kann. Bildquelle: Meech International …”

Martin Hirschmann Vorausschauendes Handeln wird belohnt … S. 3

„… Reichweiten • Auflade-Elektroden für gezieltes elektrostatisches Aufladen Test- und Messgeräte …” „… investieren. C2 präsentiert aktuelle Analysen und Marktforschung zu diesem Thema MARKTBERICHT An die „neue …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2021-85

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packREPORT

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packREPORT Jahrgang 54 (2022) Heft 10 ISSN Online: 0342-3743

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Titelei/Inhaltsverzeichnis S. 1-5

„… Ländern.Die beiden Referenten sind absolute Experten in der Analyse, Interpretation und Umsetzung der …” „… Elektrostatik bei RFID-Transpondern Bei der Ladeeinheitensicherung hohe elektrostatische Aufladungen erzeugt …”

doi.org/10.51202/0342-3743-2022-10

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Technische Textilien

Alle Ausgaben: Technische Textilien

Technische Textilien Jahrgang 67 (2024) Heft 2 ISSN Online: 0323-3243

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Lukas Herrmann Gekräuselte Island-in-the-Sea-Mikrofasern für Luftfiltermedien S. 49-57

„… werden. Weite-re Messungen sowie optische Analysen der texturierten Garne lassen den Schluss zu, dass die …” „… elektrostatische Kraft verwen-det, um aus einer Polymerschmelze oder -lösung ein Filament zu formen und dieses sehr …” „… vor der Aufnahme aus der Faser. Die elektrostatische Kraft wird durch ein angelegtes Potenzial im …”

doi.org/10.51202/0323-3243-2024-2

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wt Werkstattstechnik online

Alle Ausgaben: wt Werkstattstechnik online

wt Jahrgang 94 (2004) Heft 6 ISSN Online: 1436-4980

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R. Neugebauer, A. Hirsch, S. Gleich Schleifstaub wirksam getrennt – Sortierprozess im Korona-Feld erlaubt zuverlässige und schnelle stoffliche Trennung S. 280-283

„… „au-ßerhalb“ beschränken muss. Eine Möglichkeit besteht in der Analyse des Schleifstaubes und im Besonderen der …” „… im Bereich von 100 µm bis 900 µm. Dies wurde in einer Sieb-Analyse ermittelt. Die Späne sind kurz …” „… elektrostatischen Feld. Die Korona-Entladung ist eine selbständige Gasentladung, die an dünnen Metalldrähten oder …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2004-6

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Emissionsminderung 2024

VDI Wissensforum GmbH (Hrsg.)

Reihe: VDI-Berichte

Band 2432 2024

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D. Hatscher, A. Joakim Coldevin Bunkan beim Stand der Technik Gegenwart und Zukunft der direkten Behandlung von Abluft mit nicht-thermischen Plasmen zur Reduktion von Industriellen Emissionen S. 101-112

„… Falle der Direktbehandlung wie im ModuPlasma® - durch elektrostatische Partikelabscheidung. Die …” „… nicht-thermischen Plasmaanlage aufgeladen und elektrostatisch abgeschieden. Die Entladungszellen einer solchen …” „… der elektrostatischen Abscheidung wird schon seit dem Ende des neunzehnten Jahrhunderts großtechnisch …”

doi.org/10.51202/9783181024324

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C2 Deutschland

Alle Ausgaben: C2 Deutschland

C2 Deutschland Jahrgang 18 (2024) Heft 104 ISSN Online: 2366-6943

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Anna Ntemiris Originell und funktionell S. 10-15

„… Anforderungen an Verpackungen steigen immer weiter: Anlass für eine Analyse der aktuellen Trends bei …” „… nicht immer die nachhaltigere Lösungwww.hildebrand-technology.comELEKTROSTATISCHE AUFLADUNG VON VLIES …” „… – UND GEWEBEMATERIAL MIT iONCHARGE 4.0Die per fekte elektrostatische Aufladung ohne Ladungsverluste über …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2024-104

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packREPORT

Alle Ausgaben: packREPORT

packREPORT Jahrgang 56 (2024) Heft 3 ISSN Online: 0342-3743

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VEREDELUNGEN MACHEN AUS VERPACKUNGEN EIN ERLEBNIS S. 34-37

„… UMWELTSCHONENDE LÖSUNGEN FÜR VERPACKUNGSDRUCK UND -VEREDELUNGFortschrittliche Elektrostatik Kontrolle...Mit …” „… Büroarbeitsplatz ausProduktionsprozesse jederzeit im Blick, blitzschnelle Analyse und Beurteilungder …” „… GegebenheitenInline Messung und Protokollierung der gemessenen elektrostatischenLadungenmesa@meech.com +49 (0) 651 …”

doi.org/10.51202/0342-3743-2024-3

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C2 Deutschland

Alle Ausgaben: C2 Deutschland

C2 Deutschland Jahrgang 17 (2023) Heft 98 ISSN Online: 2366-6943

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Titelei/Inhaltsverzeichnis S. 1-5

„… MediPharmWolfgang Schubert Sachverständiger für Elektrostatik, TauchaMartin LehmkösterSales Manager Bahninspektion …” „… Elektrostatik, TauchaMartin LehmkösterSales Manager Bahninspektion, Dr. Schenk GmbHDie Entscheider-Konferenz …” „… Separatoren-Folien Risiken-Analyse: Elektrosta�k bereits im Vorfeld erkennen durch professionelle Mess- und …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2023-98

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wt Werkstattstechnik online

Alle Ausgaben: wt Werkstattstechnik online

wt Jahrgang 107 (2017) Heft 01-02 ISSN Online: 1436-4980

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D. Prof. Biermann, M. Kansteiner, M. Tilger, P. Wiederkehr Einfluss der Andrückrollenhärte beim Microfinishen*/Microfinishing - Influence of the pressure roller hardness: Analysis of the contact conditions and the obtained surface roughness S. 59-65

„… Universität Dortmund umfassend mit der Analyse der Vielzahl von ergebnisrelevanten Prozessstellgrößen sowie …” „… , Feinbearbeitung, Schleifen Einfluss der Andrückrollenhärte beim Microfinishen* Analyse der Kontaktbedingungen …” „… ). Eingesetzt wurden zwei Microfinishbänder mit elektrostatisch gerichteten Körnern der Firma 3M mit einer …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2017-01-02

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