Bestückung von ungehausten Chips in der Bewegung
Zusammenfassung
Konventionell werden ungehauste Chips sequenziell auf ein stillstehendes Substrat platziert. Dabei wird die Bestückungsrate maßgeblich durch die mechanische Trägheit der Aktuatoren während des kontaktbasierten Ausstoßprozesses der Chips vom Wafer begrenzt. Alternativ kann die Chipablösung auch kontaktlos über das Laser Induced Forward Transfer Verfahren optisch initiiert werden. Dieses Verfahren ermöglicht die Chips bei bewegtem Substrat zu bestücken. Daraus resultiert, dass die Bestückungsrate nicht mehr durch die mechanische Trägheit, sondern durch die Dauer für die Zufuhr von weiteren Chips begrenzt ist. Da derzeit für eine solche Bestückung noch kein vollautomatisierter Bestückungs-automat existiert, wird in dieser Arbeit ein Steuerungskonzept zur Bestückung in der Bewegung vorgestellt und in einem Anlagendemonstrator erfolgreich realisiert. Während der Validierung der Bestückung in der Bewegung wird eine Bestückungsrate von 108.000 Chips pro Stunde erreicht.
Schlagworte
- I–XIV Titelei/Inhaltsverzeichnis I–XIV
- 1–4 Kapitel 1: Einleitung 1–4
- 5–22 Kapitel 2: Stand der Wissenschaft und Technik 5–22
- 2.1 Bestückungsautomaten für ungehauste Chips
- 2.2 Fazit und Motivation
- 23–26 Kapitel 3: Zielsetzung und Vorgehensweise 23–26
- 3.1 Zielsetzung
- 3.2 Vorgehensweise
- 27–52 Kapitel 4: Technisches Konzept zur Bestückung in der Bewegung 27–52
- 4.1 Prozessanforderungen, Parameter und Einflussfaktoren der optisch induzierten Bestückung in der Bewegung
- 4.2 Erstellung des technischen Konzepts
- 4.3 Fazit
- 53–72 Kapitel 5: Steuerungskonzept zur Bestückung in der Bewegung 53–72
- 5.1 Übersicht der Steuersoftware
- 5.2 Steuerung des Kleberauftrags
- 5.3 Steuerung des Chipauftrags
- 5.4 Implementierung der echtzeitfähigen Steuerung
- 5.5 Fazit
- 73–104 Kapitel 6: Validierung am Anlagendemonstrator 73–104
- 6.1 Anlagendemonstrator und Validierungsszenario
- 6.2 Untersuchung des Kleberauftrags
- 6.3 Untersuchung des Chipauftrags
- 6.4 Fazit
- 105–108 Kapitel 7: Zusammenfassung und Ausblick 105–108
- 109–112 Abbildungsverzeichnis 109–112
- 113–113 Tabellenverzeichnis 113–113
- 113–114 Algorithmenverzeichnis 113–114
- 115–124 Literaturverzeichnis 115–124
- 125–126 Betreute studentische Arbeiten 125–126
- 127–128 Datenblätter verwendeter Produkte 127–128
- 129–130 Eigene wissenschaftliche Publikationen 129–130
- 131–133 Lebenslauf 131–133
