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VDI-Z Volume 164 (2022) Issue 11-12 ISSN Online: 0042-1766

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Volker Gogoll Zykluszeiten runterschrauben S. 30-31

„… geschütztDie Forschungsstelle des Kunststoff-Instituts betreibt Anlagen zur chemischen Gasphasenabscheidung …” „… . kimw.deBild 1. Prinzip der Chemischen Gasphasenabscheidung. Grafik: KIMWBild 2. Der Demonstrator des …” „… physikalischen Gasphasenab-scheidung (PVD) ist die CVD 3D-kon-form und auch spaltgängig. Daher eignet sich dieses …”

doi.org/10.37544/0042-1766-2022-11-12

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Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften

Markus Mohr

Series: Grund- und Werkstoffe/Kunststoffe

Volume 761 2017

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Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-VIII

„… , ¤ 85,00/VDI-Mitgliederpreis ¤ 76,50. Für die Dokumentation: Chemische Gasphasenabscheidung …” „… auf einige Synthese-Parameter der verwendeten chemischen Gasphasenabscheidung eingegangen, mit Hilfe …”

Grundlagen S. 5-45

„… zum Wachstum von Diamant in der thermisch unterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (HFCVD) führt …” „… gleicher Weise kann während der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) von Diamant zusätzlich Lonsdaleit …” „… Herstellung von Diamant mit Hilfe des Hot Filament Gasphasenabscheidung (engl. Chemical Vapor Deposition …”

Einleitung S. 1-4

„… Diamant eine hohe Härte, eine hohe Wärmeleitfähigkeit und herausragende chemische Stabilität auf, wodurch …” „… Verständnis der Ergebnisse notwendigen theoretischen Grundlagen zur Hot-Filament Gasphasenabscheidung …”

doi.org/10.51202/9783186761057

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wt Werkstattstechnik online

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wt Volume 112 (2022) Issue 11-12 ISSN Online: 1436-4980

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Marcel Plogmeyer, Germán González, Volker Schulze, Günter Bräuer Werkzeugintegrierte Dünnschichtsensorik/Tool-integrated thin-film sensors – Temperature, force and wear measurement for the digitalization of cutting processes S. 733-736

„… Gasphasenabscheidung)-Prozess abgeschieden. Darauf wird mittels Fotolithografie eine Elektro-denstruktur aus Chrom gefertigt. Es …” „… Gas-phasenabscheidung) direkt auf das Werkzeug (Geometrie SNGA 190908) abgeschieden. Zunächst wird eine 3 – 4 µm dicke …” „… , homogen mit einer Dicke von circa t = 6 µm in einem PACVD (plasmaunterstützte chemische …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2022-11-12

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Spritzgießen 2017

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 4349 2017

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G. Fornalczyk, F. Mumme Konturnahe keramische Beschichtungen für Präzisionsanwendungen in der Kunststoffverarbeitung S. 183-196

„… Werkzeuge ist diese Technologie daher nur eingeschränkt nutzbar.[2] Die chemische Gasphasenabscheidung …” „… Kurzfassung Die Beschichtung von Werkzeugformeinsätzen in der Spritzgießfertigung mittels chemischer …” „… Gasphasenabscheidung (CVD) bietet die Möglichkeit durch Aufbringung dünner keramischer Schichten, die Lebensdauer von …”

doi.org/10.51202/9783182443490

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VDI-Z Volume 163 (2021) Issue 11-12 ISSN Online: 0042-1766

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Wirtschaftliche Werkzeuge S. 29

„… chemische Gasphasenabscheidung (CVD) spezialisiert. Dabei gelingt es durch den Einsatz von …”

Lukas Stürenburg, Marcel Wichmann, Marius Lindauer, Berend Denkena Maschinelles Lernen in der Prozessplanung S. 26-29

„… chemische Gasphasenabscheidung (CVD) spezialisiert. Dabei gelingt es durch den Einsatz von …”

doi.org/10.37544/0042-1766-2021-11-12

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wt Werkstattstechnik online

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wt Volume 105 (2015) Issue 05 ISSN Online: 1436-4980

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C. Glanz, C. Hubrich Kohlenstoffnanopartikel – kürzere Entwicklungszeiten mit selbst hergestelltem Forschungsmaterial S. 348-349

„… prinzipiell gleichen Prozess durch chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition – CDV …” „… einerseits die Entwicklungslaufzeiten, andererseits können durch zusätzliches chemisches Funktionalisieren …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2015-05

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Verschleiß- und feuchteresistente MoS2- Festschmierstoffschichten für den Gleit- und Wälzkontakt

Bernd Vierneusel

Series: Konstruktionstechnik/Maschinenelemente

Volume 440 2017

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Dünne tribologische Schichten S. 23-31

„… vapor deposition, deutsch: Chemische Gasphasenabscheidung 4 Dünne tribologische Schichten 24 4.1 …” „… chemischen Bindungszustand in metallische Hartstoffe (wie TiN oder WC), kovalent gebundene Hartstoffe (wie BN …” „… . 2 Engl. Physical vapor deposition, deutsch: Physikalische Gasphasenabscheidung 3 Engl. Chemical …”

PVD-Technik S. 32-46

„… werden können. Im Gegensatz zur chemischen Gasphasenabscheidung (chemical vapor deposition, CVD), bei der …” „… 5 PVD-Technik 32 5 PVD-Technik Die physikalische Gasphasenabscheidung (physical vapor deposition …” „… MoS2-Targets. Dabei führt der Ionenbeschuss des Targets zu einer Änderung der chemischen …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XVIII

„… ................................................................................................ IX Chemische Elementsymbole und Summenformeln .................................................... X …” „… Strukturell-chemische Merkmale ...................................................................... 112 9.5.1 …” „… Strukturell-chemische Merkmale und Einflüsse auf mechanische Eigenschaften und das tribologische Verhalten …”

doi.org/10.51202/9783186440013

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wt Werkstattstechnik online

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wt Volume 103 (2013) Issue 9 ISSN Online: 1436-4980

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C. Hubrich, C. Glanz, I. Kolaric Reaktorpark zur Synthese und Funktionalisierung von Nanomaterialien S. 726-730

„… , Plasma oder Lichtbogen-entladung erfolgen. 2.1.1 Chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor …” „… Graphen Für die Synthese von CNTs gibt es mittlerweile drei Ver -fahren: Gasphasenabscheidung (Chemical …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2013-9

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 73 (2021) Issue 01-02 ISSN Online: 0720-5953

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Markus Forytta Graphit statt Gold für Bipolarplatten S. IW12-IW13

„… sowie mit Sauerstoff gespeist und erzeugen daraus in einer chemischen Reaktion Wasser, Strom und …” „… info@iws.fraunhofer.de www.iws.fraunhofer.de kalische Gasphasenabscheidung“ (PVD) ein. Dabei verdampft ein Lichtbogen …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2021-01-02

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Kunststoffe in der Medizintechnik 2016

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 4346 2016

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C. Oehr, J. Barz, K. Borchers, M. Müller Oberflächen: Wenige Nanometer moderieren die Wechselwirkung mit biologischen Systemen S. 67-76

„… der Gasphase kommen Verdampfen, chemische Gasphasenabscheidung, Kathodenzerstäubung und …” „… bezüglich chemischer Zusammensetzung und Struktur. Andererseits beeinflusst die flüssige Phase, das Medium …” „… sowohl die chemische Zusammensetzung der Oberfläche als auch deren geometrische Struktur angepasst …”

doi.org/10.51202/9783182443469

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C2 Deutschland

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C2 Deutschland Volume 17 (2023) Issue 102 ISSN Online: 2366-6943

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R2R-Oberflächenbehandlungstechniken im Vergleich S. 30-33

„… mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD) spezialisiert. Der PECVD-Prozess wird …” „… Plasmazustand. Er überdeckt die anderen möglichen chemi-schen Reaktionen vollständig und führt zu einer starken …” „… kontinuierlich bearbeitet. Je nach chemischer Zusammen-setzung werden unterschiedliche Verfah-ren durchgeführt …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2023-102

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UmweltMagazin

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UmweltMagazin Volume 50 (2020) Issue 10-11 ISSN Online: 0173-363X

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Georg Janssen Externe Beauftragte machen Sinn S. 60-61

„… ) NR. 10-11 S T A N D A R D S Klartext zur chemischen Phosphatelimination Das Merkblatt DWA-M 206 …” „… „Automatisierung der chemischen Phosphatelimination“ der Deutschen Vereinigung für Wasserwirtschaft, Abwasser und …” „… vorgestellt und bewertet. Vorlage war das Merkblatt ATV-DVWK-M 206 „Automatisierung der chemischen …”

doi.org/10.37544/0173-363X-2020-10-11

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Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

Markus Albert Kagerer

Series: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik

Volume 393 2017

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Stand der Technik S. 9-25

„… bspw. thermische Oxidation, physikalische und chemische Gasphasenabscheidung, Photolithographie sowie …” „… zurückgegriffen werden kann, sowie wegen seiner chemisch reinen Herstellbarkeit und seiner sehr guten …” „… physikalischer oder auch chemischer Prozesstechnik (Diffusion und Oxidation). Hiermit werden zum einen die …”

Bedeutung der Ergebnisse S. 92-118

„… , die chemische oder auch die physikalische Gasphasenabscheidung, zur Verfügung. Ein für die …” „… Komponenten des Aktors. Dar- über hinaus zeigt sich der Aufbau als chemisch sehr resistent, da nur das …” „… chemisch angreifen, können nicht dosiert werden. Beispiele hierfür sind Kaliumhydroxid oder …”

doi.org/10.51202/9783186393098

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Photovoltaik.

Ralf Haselhuhn

Series: BINE-Fachbuch

Volume 2013

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10 Trends und neue Technologien S. 152-159

„… Einsatz von guten passivierten Zelloberflächen, hergestellt durch chemische Gasphasenabscheidung (PECVD …” „… elektrischer in chemische Energie teuer, und die Wirkungsgrade sind noch zu gering. Wenn hier Verbesserungen …”

doi.org/10.51202/9783816787389

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Inkjet-Druckprozess für die Fertigung von Strukturen zur photoaktivierten Wasserspaltung

Danny Lehmann

Series: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik

Volume 394 2017

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Stand der Forschung S. 7-15

„… chemischer Beschichtungsverfahren über nanokristalline Schichten geschehen, andererseits können mesoporöse …” „… Erzeugung von Silizium-dotierten blumenkohlartigen Hämatit-Strukturen über den Prozess der chemischen …” „… Gasphasenabscheidung [Valdes et al., 2012]. Im Zusammenhang mit porösen Schichten wird auch der Einsatz von Co …”

doi.org/10.51202/9783186394095

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