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Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften

Markus Mohr

Series: Grund- und Werkstoffe/Kunststoffe

Volume 761 2017

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„… – Nanokristalliner Diamant – Bruchspannung – Poissonzahl – Plastische Verformung – Wärmeleitfähigkeit – elektrische …” „… nanokristallinem Diamant . . . . . . . . . . . . 17 2.2.3 Anteil der Korngrenzen am Gesamtmaterial …” „… nanokristallinem Diamant . . . . . . . 117 4.4 Elektrische Leitfähigkeit …”

Diskussion der Ergebnisse S. 139-161

„… , dass von Mo et al [147], durch Simulationen von Nanoindentationen in nanokristallinen Diamant ’Grain …” „… Diamantclustern zugerechnet, charakteristisch für nanokristalline Diamantfilme [269]. Die Peaks bei 1157 cm−1 und …” „… al [331] haben gezeigt, dass Bruch in nanokristallinem Diamant dadurch entsteht, dass Körner entlang …”

Grundlagen S. 5-45

„… einkristallinem Diamant zu nanokristallinem Diamant, welcher sowohl aus Kristalliten mit Diamantstruktur, als auch …” „… Struktur von nanokristallinem Diamant Nanokristalliner Diamant ist aus Kristalliten mit nanoskaligen …” „… als Korngrenzen bezeichnet werden. Dadurch ist die Struktur von nanokristallinem Diamant auf …”

Zusammenfassung und Ausblick S. 162-163

„… 6 Zusammenfassung und Ausblick Im Rahmen dieser Arbeit wurden nanokristalline Diamantfilme mittels …” „… Behandlung ändern. Die Messung der thermischen Leitfähigkeiten von nanokristallinen Diamantfilmen ergab, dass …” „… nanokristallinen Diamantschichten. Auf der anderen Seite geben die Ergebnisse interessante Hinweise für die …”

Einleitung S. 1-4

„… • Die Prozessparameter zur reproduzierbaren Herstellung großflächiger nanokristalliner Diamantschichten …” „… nanokristallinen Diamantfilmen sind beispielsweise folgende Fragestellungen hochrelevant, aber noch völlig offen …” „… nanokristallinen Diamantschichten gegenüber relativ spröden mikrokristallinen Diamantschichten verbessert werden …”

Experimentelle Ergebnisse und Modellierung S. 88-138

„… Diamantfilme belegt ist. Da bei der Nanoindentation eine Diamantspitze auf die nanokristalline Diamantprobe …” „… -) nanokristalline Diamantfilme zu wachsen. 88 4.1 Synthese von (ultra-)nanokristallinen Diamantschichten Es muss …” „… Experimentelle Ergebnisse und Modellierung wurde bereits gezeigt, dass der Bruch von nanokristallinem Diamant der …”

Experimentelle Methoden S. 46-87

„… einem nanokristallinen Diamantfilm dargestellt. Zu sehen ist der Diamant (111)-Peak, der Diamant (220 …” „… Siliziumoberfläche (b) Gleiche Probe nach 30 Minuten Wachstum von nanokristallinem Diamant In Bild 3.1(a) ist die …” „… makroskopische, freistehende Balkenstrukturen aus nanokristallinem Diamant zu erzeugen. Die erzeugten Balken …”

Anhang S. 166-207

„… Vortrag: M. Mohr, "Nanokristalliner Diamant - Ein innovatives Material für die Mikrosystemtechnik" 2014 …” „… von Diamant Eine einfache Möglichkeit dicke Diamantfilme relativ schnell zu strukturieren ist, abseits …” „… Parameter waren Tabelle A.16: Parameter zur Laserstrukturierung von nanokristallinen Diamantschichten …”

Literaturverzeichnis S. 208-238

„… . [307] M. Gerster, ,,Mikrostrukturierung von nanokristallinen Diamantfilmen durch Reaktives Ionenätzen …” „… Wasserstoffterminiertem und Bor-dotiertem Diamant,’’ Studienarbeit, Universität Ulm, 2010. [116] S. G. Lekhnitskii, Theory …” „… . 21, Nr. 3, S. 183--185, 1982. [38] K. Janischowsky, ,,Wachstum hochorientierter Diamantschichten auf …”

doi.org/10.51202/9783186761057

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wt Volume 109 (2019) Issue 01-02 ISSN Online: 1436-4980

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E. Uhlmann, W. Reimers, K. Brömmelhoff, G. Christiansen Hochleistungsbohrwerkzeuge für CFK*/High performance drilling tools for CFRP – Wear and performance of CVD-diamond coatings S. 35-39

„… höheren Oberflächenrauheit zu rechnen. Nanokristalline CVD-Diamantschichten weisen aufgrund der …” „… Eigenspannungszustände der CVD-Diamantbeschichtung durch die Kombination der mikround nanokristallinen Beschichtung zu …” „… Anwendungszweck wurden Bohrwerkzeuge mit verschiedenen CVD-Diamant beschichtungen sowie Hartmetallsubstraten …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2019-01-02

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 74 (2022) Issue 10 ISSN Online: 0720-5953

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Spezialwerkzeuge mit Premium-Beschichtung S. IW10-IW11

„… Materialien auf erstklassige Präzisionswerkzeuge angewiesen. Durch Diamant-Beschichtungen kann die …” „… – beispielsweise auf dem Gebiet diamant-beschichteter Wendeschneidplatten.Wer die Produktion von Alsameca in …” „… Wendeschneidplatten von Alsameca und den Diamant-Beschichtungen von Ceme-con erreiche hervorragende Ergebnisse beim …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2022-10

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 76 (2024) Issue 01-02 ISSN Online: 0720-5953

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Diamantschichten nach Maß S. IW2-IW3

„… zu adhäsiven Verschleiß-vorgängen, ist der Einsatz von diamant-ähnlichen Kohlenstoffschichten (DLC …” „… bei der Beschichtung feinkörnige mikro-kristalline oder nanokristalline Schichten entstehen, wird über …” „… Kohlenstoffatombin-dungen (Graphit) und solchen mit sp3-Hybridisierung (Diamant) gebildet. Das Mischungsverhältnis bestimmt …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2024-01-02

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wt Volume 109 (2019) Issue 07-08 ISSN Online: 1436-4980

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D. Hinzmann, E. Uhlmann Einsatzverhalten von CVD-Diamantdünnschichtwerkzeugen*/Tool behavior of CVD-diamond thin film tools S. 563-569

„… CVD-Diamant-Verschleißschutzschichten [7]. Obwohl CVD-Diamantdünnschichtwerkzeuge erhebliches Potenzial für Bearbeitungsvorgänge von …” „… marktübliche, kobaltbasierte Hartmetalle, welche mit einer nanokristallinen CVD-Diamantdünnschicht …” „… Herausforderungen [4]. Durch den Einsatz hochharter Schneidstoffe wie Diamant, welcher sich durch die Kombination …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2019-07-08

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wt Volume 111 (2021) Issue 07-08 ISSN Online: 1436-4980

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Eckart Uhlmann, Tobias Holznagel, Sebastian Ospina Mora Körperschallemission in CFK und Fräswerkzeugen/Acoustic emission in CFRP and milling tools – Analysis of emitted acoustic emission in analogous experiments S. 495-500

„… nanokristallinen Diamantschicht konnten ebenfalls aufgezeichnet werden. Die Signalmaxima liegen im Mittel bei u …” „… Werkzeugverschleißraten aufgrund der hochabrasiven Kohlenstofffasern. Daher werden derzeit vornehmlich diamant …” „… . Bei den Probenkörpern handelt es sich um mikro- oder nanokristallin beschichtete Hartmetallzylinder …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2021-07-08

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wt Volume 105 (2015) Issue 07-08 ISSN Online: 1436-4980

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E. Uhlmann, D. Oberschmidt, M. Polte, J. Börnstein Entwicklung einer Herstellungstechnologie für PKD-Mikrofräswerkzeuge*/Development of a manufacturing technology for PCD end mills S. 508-513

„… nanokristalliner Diamant mit einer Korngröße dK £ 0,5 µm mit der Herstellerbezeichnung PKD 0005 eingesetzt, der …” „… Diamanten & Systeme e.K. für die Unterstützung. * Bei den mit einem Stern gekennzeichneten Beiträgen …” „… aus polykristallinem Diamanten (PKD) den Verschleiß beim Mikrofräsen zu reduzieren. Daher ist eine …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2015-07-08

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Zylinderlaufbahn, Kolben, Pleuel

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 2317 2018

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G. Flores, M. Kesting Prozesskette zur Herstellung von thermisch beschichteten Zylinderbohrungen S. 59-72

„… Aufrauverfahren GRP1 arbeitet sowohl mit einer Formschneide als auch mit einem Diamant-Rollierwerkzeug [2] (Bild …” „… Diamant-Rollierwerkzeug arbeitet ausschließlich umformend. Auf der Walze befinden sich metallisch gebundene …” „… Gühring) und Diamant-Rollieren für Al-Legierungen Entsprechend den Prozessschritten …”

doi.org/10.51202/9783181023174

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wt Volume 102 (2012) Issue 6 ISSN Online: 1436-4980

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Eckart Uhlmann, Fiona Sammler, Walter Reimers, Matthias Meixner Werkzeugauslegung zur Bearbeitung von Leichtbauwerkstoffen* S. 416-424

„… Standzeit der CVD-diamant-beschichteten Werkzeuge ist jedoch von der Schichthaftung der Diamantschicht auf …” „… . Alle Werkzeuge wurden von der Firma Komet rho-BeSt mit einer nanokristallinen CVD-Diamantschicht …” „… mit CVD-diamant-beschichteten Werkzeugen hinsichtlich Schneidengeometrie, Substrat-hartmetall …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2012-6

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VDI-Z Volume 161 (2019) Issue 07-08 ISSN Online: 0042-1766

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Werkzeuge aus Tübingen für die ganze Welt S. 44-45

„… , saubere und kosten effiziente Elektrodenfertigung. Der Graftor zeichnet sich durch eine nanokristalline …” „… Diamant beschichtung (DIP) und geringen Schnittdruck aus. Die patentierte 4-Schneiden-Geometrie bewirkt …”

doi.org/10.37544/0042-1766-2019-07-08

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wt Volume 98 (2008) Issue 3 ISSN Online: 1436-4980

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C. Brecher, F. Niehaus, M. Merz, C. Wenzel Mikrostrukturierung von Freiformflächen S. 195-199

„… Fertigung von Master-werkzeugen zur Replikation mittels ultrapräziser Diamant -zerspanung bis hin zum …” „… Ultrapräzisionszerspanung Die Ultrapräzisionszerspanung mit monokristallinen Diamant werkzeugen ist ein zuverlässiges …” „… spitzwinklige Werkzeuge ohne Facet te zum Einsatz. Die hohe Härte des Diamanten gestattet die Fertigung präziser …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2008-3

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wt Volume 112 (2022) Issue 11-12 ISSN Online: 1436-4980

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Marcel Plogmeyer, Germán González, Volker Schulze, Günter Bräuer Werkzeugintegrierte Dünnschichtsensorik/Tool-integrated thin-film sensors – Temperature, force and wear measurement for the digitalization of cutting processes S. 733-736

„… des Außenlängsdrehens, welche prozesssicher und verschleißunab-hängig gezielt nanokristalline …” „… wirkenden thermo-mechanischen Lastkollektivs mit der entstehenden nanokristalli-nen Randschicht und deren …” „… nanokristalli-nen Randschichtzuständen mithilfe der Dünnschichtsensoren um-gesetzt. So werden der Industrie in …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2022-11-12

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