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Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik

Robert Kowarsch

Series: Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik

Volume 1270 2021

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Zusammenfassung und Ausblick S. 151-157

„… Laser-Doppler-Vibrometrie, hat sich als kontaktlose, empfindliche und genaue Schwingungsmesstechnik für die …” „… Stands der Technik in der heterodynen Laser-Doppler-Vibrometrie an technologische Grenzen. Dabei gibt es …” „… Laser-Doppler-Vibrometrie, waren in der Literatur bisher nicht bekannt. In der vorliegenden Arbeit wurde in einer …”

Einleitung S. 1-12

„… heterodyne Laser-Doppler-Vibrometrie aufgrund der konventionellen Techniken zur Trägererzeugung im Hinblick …” „… . Zusammenfassung des Forschungsbedarfs Die Gerätetechnik der heterodynen Laser-Doppler-Vibrometrie steht somit …” „… heterodynen Laser-Doppler-Vibrometrie zur Auflösung der Schwingungsamplituden im Subpicometer-Bereich …”

Simulation eines Reflexions-Nanoskops mittels Absorbanzmodulation S. 76-103

„… - Doppler-Vibrometrie vor allem im Hinblick auf die Rückwirkung. 6.1 Implementierung des Simulationsmodells Das …” „… Absorbanzmodulation 6.6 Anwendung der Absorbanzmodulation in der Laser-Doppler-Vibrometrie 6.6.1 Besondere …” „… Grenzflächen-Reflexion der AML (zum Umgebungsmedium) kompensiert werden kann, ist für die Laser-Doppler-Vibrometrie nicht …”

Heterodyne Interferometrie mittels Frequenzdifferenz-Regelung S. 23-39

„… Abschnitt werden die Grundlagen und die Modellierung der Laser-Doppler-Vibrometrie eingeführt. Für eine …” „… Laserstrahlung zustande kommt. In der Laser-Doppler-Vibrometrie wird die Phasenmodulation aufgrund einer …” „… Algorithmus für die Laser-Doppler- Vibrometrie zur mathematischen Rekonstruktion des unteren Seitenbands aus …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XX

„… Dokumentation: Optische Messtechnik – Lasermesstechnik – Laserinterferometrie – Vibrometrie …” „… Anwendung der Absorbanzmodulation in der Laser-Doppler-Vibrometrie 100 6.6.1 Besondere Anforderungen an die …” „… Laser-Doppler-Vibrometrie hat sich als kontaktlose, empfindliche und genaue Schwingungsmesstechnik für die …”

Ortsauflösung der Mikroskopie und Absorbanzmodulation S. 56-75

„… Anforderungen der Ortsauflösung in der Laser-Doppler-Vibrometrie und die Notwendigkeit zur Hochauflösung. Im …” „… Ortsauflösungsvermögens der Laser-Doppler-Vibrometrie, dass die empfangene Gesamtleistung eines benachbarten (statischen …” „… Reflexions-Nanoskops mittels Absorbanzmodulation In der Laser-Doppler-Vibrometrie wird die Phase der eingestrahlten …”

Experimentalaufbau des Laser-Doppler-Vibrometer-Mikroskops S. 104-132

„… bis zu |∆? |/? ≈ 10−10 erreicht wird [212]. In der Vibrometrie liegt die typische Unsicherheit der …” „… für den Einsatz in der Vibrometrie wird bereits von unstabilisierten HeNe-Lasern erreicht, die eine …” „… Stabilisierung des Master-Lasers über Injektionsstrom und Temperatur für die Anforderungen der Vibrometrie aus …”

Stand der Wissenschaft S. 13-22

„… Absorbanzmodulation auf Bildgebung an technische Oberflächen oder auch auf die Laser-Doppler-Vibrometrie. Mit …”

Literaturverzeichnis S. 169-182

„… nanoskopische Laser-Doppler-Vibrometrie. In: XXX. Messtechnisches Symposium. Oldenbourg: De Gruyter, 2016, S …”

doi.org/10.51202/9783186270085

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Schwingungen 2019

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 2366 2017

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O. Hagedorn, D. Pielsticker, T. Hemsel, W. Sextro Messung hochfrequenter In-Plane-Schwingungen mittels Laservibrometrie in räumlich eingeschränkten Umgebungen S. 393-402

„… , 2019 393 und 3D-Vibrometrie vermessen werden können. Die Validität der Messungen über den Spiegel wird …” „… messen, wird die sogenannte Laser-Doppler-Vibrometrie eingesetzt. Mit herkömmlichen Messmethoden, welche …” „… auf der Out-of-Plane Vibrometrie beruhen, sind die In-Plane-Schwingungen des Substrats nicht direkt …”

doi.org/10.51202/9783181023662

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Strukturdynamische Analyse mittels elektromechanischer Schwingungssensoren

Daniel Herfert

Series: Schwingungstechnik

Volume 353 2021

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Literaturverzeichnis S. 127-140

„… , https://www.polytec.com/de/vibrometrie/produkte/full-fieldvibrometer/psv-500-3d-scanning-vibrometer [27] GOM GmbH: Produktseite des GOM ARAMIS SRX Systems Schneller …” „… , https://www.polytec.com/de/vibrometrie/produkte/full-field-vibrometer/mpv-800multipoint-vibrometer/ [29] B. Möller: Multi-Mosaikbilder: Ein Ansatz zur ikonischen …”

doi.org/10.51202/9783186353115

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