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Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Axel Hald

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 473 2020

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„… MEMS-Elements durchgeführt werden kann (siehe Abschnitte 3.2 und 3.3). Dynamische parasitäre Effekte, wie sie 30 …” „… typischerweise auf der Finite- Elemente-Methode (FEM) basierende Verfahren eingesetzt. Je nach Anwendungsfall 26 …” „… (MEMS-System) in der Regel aus einem mikromechanischen Element (MEMS- Element) und einem separaten …”

Einleitung S. 1-9

„… die auftretenden parasitären Kapazitäten des MEMS-Elements sehr genau (und voneinander unterscheidbar …” „… (MEMS) besteht im Allgemeinen aus einem mikromechanischen Element, dem mechanischen Sensor oder Aktor …” „… und einem separaten mikroelektronischen Element, der Auswerteschaltung. Diese Schaltung ist …”

Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben S. 138-140

„… . Neben den elektrostatischen parasitären Effekten in der Ruhelage können in MEMS- Elementen aufgrund der …” „… MEMS-Elemente. Dadurch ist es möglich, den Einfluss der elektrostatischen parasitären Effekte durch gezielte …” „… MEMS-Elemente immer noch in einem polygonbasierten Entwurfsprozess entwickelt, aus dem nur eine reine 2 …”

Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung S. 132-137

„… parasitären Kapazitäten auf Basis der erkannten Topologie-Elemente in der Chip-Geometrie ermöglicht. 8.1 …” „… parasitären Kapazitäten zwischen den Topologie-Elementen und den Verdrahtungs-Strukturen (vgl. Abb. 8.2 und …” „… parasitäre Kapazitäten gezielt in der Chip-Geometrie anhand von erkannten Topologie-Elementen zu lokalisieren …”

Kapazitive MEMS-Inertialsensoren S. 10-24

„… MEMS-Typen anwenden oder übertragen kann. Gängige MEMS-Elemente werden aus Silizium hergestellt, da dieses …” „… lassen. Wafer 3 Wafer 2 Wafer 1 Abbildung 2.2: Schematischer Querschnitt eines MEMS-Elements, das durch …” „… . B. [12, 13, 14]). Material einbringen: In oberflächenmikromechanischen MEMS-Elementen werden u. a …”

Präzisierung der Aufgabenstellung S. 48-50

„… Folge, dass neben den nichtlinearen mechanischen Effekten auch die parasitären elektrostatischen Effekte …” „… zwischen Verdrahtungen und mechanischen Strukturen unerwünschte, sogenannte parasitäre Kapazitäten …” „… , entstehen. In kapazitiven MEMS-Inertialsensoren können diese parasitären Kapazitäten zu Verzerrungen von …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-VIII

„… in MEMS- Elementen aufgrund der beweglichen Strukturen auch bewegungsabhängige parasitäre Kapazitäten …” „… Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen SE …” „… RV ER Technische Universität Dresden Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in …”

Glossar S. 141-144

„… Rand-Element-Methode (engl. boundary element method - BEM). 7 Ableiten der Topologie-Elemente und Regeln Die Ableitung …” „… von Topologie-Elementen und Regeln bezeichnet den Vorgang, bei dem eine generische …” „… Architekturbeschreibung mittels Topologie-Elementen und zugehörigen Regeln in eine ausführbare Form für eine MEMS-Element …”

Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung S. 115-131

„… eine präzise Simulation des mechanischen Verhaltens eines MEMS-Elements existieren verschiedene …” „… bewegungsabhängiger, d. h. positionsabhängiger parasitärer Kapazitäten, steht jedoch bisher noch nicht zur Verfügung …” „… . Im Folgenden werden diese parasitären Kapazitäten, wie in Abschnitt 2.2.3 eingeführt, als dynamische …”

Methode zur polygonbasierten Schaltplan-Extraktion mit einer regelbasierten Strukturerkennung S. 71-114

„… resultierenden Netzliste entspricht jedes Sub-Netz dadurch genau einem Topologie-Element, wodurch die parasitären …” „… Ausgleich (Symmetrisierung) der parasitären Kapazitäten. Durch adäquate Definition der Topologie-Elemente …” „… Zuordnung der extrahierten Werte, sowie eine Trennung zwischen funktionellen und parasitären Kapazitäten …”

Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3DField- Solvern basierenden Elektrostatik-Analyse S. 51-70

„… Elektrostatik-Analyse Für die Entwicklung zuverlässiger und robuster MEMS-Elemente ist eine neue Methode für die …” „… MEMS-Elements treffen lassen, muss die Analyse eine Genauigkeit erreichen, die besser ist als die typisch zu …” „… hochoptimierter MEMS-Elemente. Ein naheliegender Ansatz wäre, eine hochgenaue Elektrostatik-Analyse mit einer …”

Literaturverzeichnis S. 145-154

„… und Anwendungen der Finite-Element-Methode im Maschinen- und Fahrzeugbau. Wiesbaden: Springer …” „… S. 32, 56, 66, 96, 126). [44] M. Baumann. „Parasitäre Kapazitäten von MEMS-Strukturen in aktuellen …” „… Extracting Structural Elements to Facilitate Automated MEMS Extraction“. In: J. Comput. Inf. Sci. Eng. 3 …”

doi.org/10.51202/9783186473202

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Extrinsische und intrinsische Beeinflussungen des Verhaltens von Siliziumkarbid-Leistungshalbleiter-bauelementen

Christian Bödeker

Series: Elektrotechnik

Volume 419 2019

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Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XIV

„… ) ................................................ 14 2.3 Parasitäre Elemente …” „… Schaltung eingebrachten parasitären Elemente. Es wird dabei unter anderem der planare M‐ Shunt, der mit dem Koaxialshunt verwandt ist, untersucht. Den Messergebnissen zufolge weist …” „… Elemente allgemein betrachtet. Anschließend erfolgt eine Zusammenfassung der für die Cha‐ rakterisierung verwendeten Messschaltungen sowie der durch notwendige Bestandteile der …”

Messtechnik S. 21-52

„… , sondern auch weitere passive und aktive Schaltungsele‐ mente. Diese parasitären Elemente entstehen nicht nur durch einen mangelhaften Schal …” „… ‐ häuses nicht möglich (siehe auch Abschnitt 2.3). Auch lassen sich die parasitären Elemente …” „… unter Berücksichtigung parasitärer Elemente im Lastkreis +UTreiber t10%ID t2%UDS UDC, ITest t10%UDS uGS uDS, iD t tt2%ID -UTreiber 30 Messtechnik …”

Einleitung S. 1-2

„… . Die Transistoren und Dioden stehen in Wechselwirkung mit ihrer Schaltungsumgebung. Das heißt parasitäre und bewusst eingebrachte Elemente beeinflussen das Verhalten der SiC‐ …” „… sowie die wichtigsten parasitären Elemente und deren Auswirkung auf das Schaltverhalten betrachtet …” „… . Die Voraussetzungen für die messtechnische Untersuchung der Transistoren und Dioden werden in Abschnitt 3 dargelegt. Im Speziellen wird auf die Minimierung der parasitären …”

Grundlagen der Siliziumkarbid-Bauelemente S. 3-20

„… wird aufgeführt, wie parasitäre Elemente sich im Speziellen auf das Schaltverhalten auswir‐ ken. 2.1 Materialeigenschaften …” „… ) vorgegebenen Gate‐Strom iG beeinflusst. 2.3 Parasitäre Elemente …” „… Die Schaltumgebung von SiC‐Bauelementen weist, wie die jedes anderen Halbleiterbau‐ elements, eine Vielzahl an parasitären Elementen auf. Bild 2.22 veranschaulicht dies am Bei …”

Zusammenfassung S. 138-140

„… Analyse der für das Schaltverhalten ausschlaggebenden parasitären Elemente der Schaltum‐ gebung, da diese eine Beeinträchtigung bei der Ermittlung der konkreten Leistungsfähigkeit eines …” „… die parasitären Kapazitäten der einzelnen Spulensegmente bestimmt werden. Die gemesse‐ nen Werte wurden ins Verhältnis zu den Strukturparametern gesetzt, um angenommene …” „… ebenfalls messtechnisch und simulatorisch festgestellt werden, dass das jeweils verwendete Gehäuse mit seinen parasitären …”

Durchlass- und Schaltverhalten von Transistoren S. 82-137

„… auftretenden parasitären Elemente. Das auftretende Schaltverhalten des jeweils verwende‐ ten Transistors wird neben der Beeinflussung durch die verwendete Ansteuerschaltung von …” „… ‐ lich, da der auftretende Effekt bei den geringen Ausschaltenergien vergleichsweise klein ist. Dieses Verhalten ist höchstwahrscheinlich auf die parasitäre …” „… CGS allerdings ein, durch die Miller‐Kapazität bedingtes, parasitäres Einschalten beseitigen …”

Literaturverzeichnis S. 149-169

„… (Studienarbeit (Diplom)). Bremen : Universität Bremen, 2014 [BsA‐Pete16] PETERS, JAN‐HENDRIK: Simulation der Einflüsse von parasitären Elementen …”

doi.org/10.51202/9783186419217

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SIMVEC Simulation und Erprobung in der Fahrzeugentwicklung 2016

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 2279 2016

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C. Bals, K. Gruber, D. Gerling Simulation des elektrischen Antriebsstrangs unter Verwendung des FMI-Standards S. 89-100

„… Auslegung elektrischer Maschinen erfolgt in der Regel unter Verwendung eines Finite- Elemente-Modells …” „… Stromverläufe abbilden zu können. Im Anschluss kann dann der Einfluss der Stromharmonischen auf die parasitären …” „… electrical machines is usually performed with the help of a finite-element-model (FE-model) that is able to …”

doi.org/10.51202/9783181022795

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Layout-Generatoren für den Analogentwurf in kleinen Technologieknoten

Hans Dieter Benjamin Prautsch

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 478 2022

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Grundlagen zum Analogentwurf S. 9-29

„… werden parasitäre und layoutabhängige Effekte (engl. layout-dependent effects) vorgestellt, die durch …” „… . Layout-Element Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird dieser Begriff als Oberbegriff für Layout-Objekte …” „… eingeführt. Im OpenAccess-Datenformat entspricht dies der „Figure“. Layout-Elemente wer-den genutzt, um die …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XVI

„… ............................................................................ 64 5.3.2 Generische Layout-Elemente …” „… ............................................................................. 68 5.3.3 Relationen zwischen Layout-Elementen …” „… Deklarative Beschreibung des Layouts. Die im Layout enthaltenen Elemente und deren Relationen zueinander …”

Technologieabstraktion S. 44-79

„… Bau-element-Struktur. Im Entwurf kann das konkrete Verhalten des Bauelements innerhalb einer Schaltung jeweils durch …” „… daher nur auswertbar, wenn alle die Regel betreffenden Layout-Elemente und deren Maße bekannt sind …” „… ??= ??????????.Layout-Element 2:Höhe ℎ2Weite ??2Layout-Element 1:Höhe ℎ1Weite ??1Layout-Element 2:Höhe ℎ2Weite ??2Layout-Element …”

Bottom-up-Beschreibung von Layouts S. 80-109

„… Anzahl an Layout-Elementen erzeugen. Abbil-dung 56 stellt diese Vielfalt der Varianten des …” „… Einsatz, der Layout-Elemente und Relationen speichert. Dadurch wird auch die Analyse und Modifikation …” „… durch den nachträglichen Zugriff auf die Elemente des Layouts möglich (Abbildung 57). 86 Abbildung …”

doi.org/10.51202/9783186478207

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 75 (2023) Issue 01-02 ISSN Online: 0720-5953

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Herausforderung Highspeed S. 14-16

„… , Außendurchmesser und Elemente-größe müssen aufeinander abgestimmt sein, um ein schwingungsarmes System zu erhalten …” „… wir-kenden Störgrößen. Diese Störgrößen oder sogenannte parasitäre Kräfte entste-hen oftmals durch …” „… ® Antriebstechnik)Bild 3: Mit den EAS-HSE Highspeed-Elemente-kupplungen hat das Unternehmen Produkte ent-wickelt, die …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2023-01-02

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 69 (2017) Issue 05 ISSN Online: 0720-5953

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Kupplungen für Hochdrehzahl-Anwendungen S. 22-25

„… Hable. „Wir begrenzen also die Massenträgheit durch einen kleinen Radius.“ Und auch die Elemente, über …” „… wirkenden Störgrößen. Diese Störgrößen oder sogenannte parasitäre Belastungen entstehen oftmals durch …” „… DU_Rodriguez_Anz_Linearsys_Linearsystem_Zahnriemen_Konstruktion572x297.indd 118.04.17 5:46 Konstruktion Mai 5-2017 Außendurchmesser und Elementegröße müssen …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2017-05

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 67 (2015) Issue S2 ISSN Online: 0720-5953

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H. Bestle Sicherheitskupplungen für Highspeed-Anwendungen S. 20-22

„… rotierenden Massen kann frei auslaufen. Die Elemente rasten nicht automatisch wieder ein. Sie bleiben …” „… Messflansch wirkenden Störgrößen. Diese Störgrößen oder sogenannte parasitäre Belastungen entstehen oftmals …” „… . Tel- Bild 2 In Sonderausführung können die EAS-HSE-Elementekupplungen bei Drehzahlen bis zu 20.000 min …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2015-S2

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Systemorientierte Impedanzsimulation eines Hochvolt-Bordnetzes am Beispiel Kraftfahrzeug

Sören Schörle

Series: Elektrotechnik

Volume 416 2017

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Impedanzmodellierung der Einzelkomponente S. 18-53

„… Impedanzmodellierung der Einzelkomponente 19 parasitäre Effekte durch Leiterbahnen, Koppelkapazitäten von Spulen und …” „… parasitären Messfehler durch die Messadaption möglichst gering zu halten, muss diese auf ein Minimum begrenzt …” „… darin enthaltenen parasitären Eigenschaften sowie dem Einfluss der Buchse und des Steckers, deren …”

Impedanz von HV-Batterien S. 53-74

„… Messadapter etwas genauer, hinsichtlich seiner parasitären Eigenschaften, untersucht. Um die Problematik …” „… hohe Induktivität durch den offen verdrahteten Aufbau mit großen Flächen oder parasitären …” „… gesehen bereits parasitäre Impedanzen einbringen, wird deren Einfluss durch Kurzschließen derselben …”

Einleitung S. 1-16

„… in [8] untersucht. Dazu wird die Methode der partiellen Elemente, mit der sich sehr detailliert …” „… und dabei die parasitären Effekte des Aufbaus mit zu betrachten. Die Impedanzdarstellung von …” „… werden. In [20] werden die konzentrierten Elemente des Kabels anhand ihrer Dimensionen ermittelt. In …”

Modellierung der Systemimpedanz S. 95-117

„… Summenschirm vorgestellt. Zuerst wurden dazu die konzentrierten Elemente des Modells anhand geometrischer …” „… Induktivität sowie die parasitären Verluste der PDU und der Adapterbox eine Reihenresonanz gedämpft …”

doi.org/10.51202/9783186416216

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DER KONSTRUKTEUR

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KON Volume 55 (2024) Issue 06 ISSN Online: 2747-7215

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Simone Dauer Zuverlässige Kupplungen für Highspeed-Anwendungen S. 18-21

„… Diese Störgrößen oder sogenannte para-sitäre Kräfte entstehen oftmals durch Ausrichtfehler im …” „… Bohrungsdurchmesser. Und auch die integrierten Elemente, über die bei den Kupplungen von Mayr Antriebstechnik die …” „… standardisierter Elemente entsteht ohne viel Aufwand eine Vielzahl an de nierten Interfaces, die ein breites …”

doi.org/10.51202/2747-7215-2024-06

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wt Werkstattstechnik online

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wt Volume 98 (2008) Issue 11-12 ISSN Online: 1436-4980

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B. Denkena, H. Kayapinar Wegsensoren für aktive Mikrolinearführungen * S. 933-937

„… auf kapazitiver Basis und die Ergebnisse der elektrostati-schen FE (Finite Elemente)-Simulation der …” „… (Finite Elemente)-Modell der Sensorik Alle Rechte vorbehalten. Copyright Springer-VDI-Verlag GmbH & Co. KG …” „… Titelthema – AufsatzMikrosystemtechnik, Messtechnik, Finite-Elemente-Methode (FEM) Wegsensoren für …”

A. Neumeister, R. Kling, A. Ostendorf, B. Denkena Rapid Manufacturing im Bereich Mikrofertigung * S. 938-943

„… , parasitäres UV-Licht), wurde die Mikrostereolithografieanlage in einem klimatisier-ten Gelblicht-Bereich …” „… Beispiel ein mikro-mechanisches Element mit einem Streichholz als Größenvergleich (Mitte und rechts) Alle …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2008-11-12

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Gleit- und Wälzlagerungen 2019

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 2348 2019

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D. Bechev, A. Gonda, R. Capan, B. Sauer Untersuchung der Oberflächenmutationen und der Riffelbildung bei spannungsbeaufschlagten Wälzlagern S. 301-312

„… Kurzfassung Oberflächenmutationen und Riffelbildung infolge parasitärer Ströme in Wälzlagern …” „… ]. Dadurch entstehen parasitäre Spannungen und Lagerströme, die Lager- und Schmierstoffschäden verursachen …” „… parasitäre hochfrequente Lagerströme“ erstellt [6], [7]. Zur Auswertung der Messungen wurden Lagerspannungs …”

A. F. Nkwitchoua Djangang Neuartige Methode zur Anomalien- oder Schadenfrüherkennung im Antriebsstrang S. 341-346

„… , dass das Lager durch seine parasitären elektrischen Eigenschaften als komplexe variable Impedanz zu …” „… for rolling element bearing fault diagnosis utilizing generalized S transform and two-dimensional …”

F. Steinweg, A. Mikitisin WEA/WEC-Bildung in ölgeschmierten Wälzkontakten – Einfluss von elektrischem Strom und Schlupf S. 257-272

„… kann zusätzlich anhand der chemischen Analysen der Elemente Chrom und Kohlenstoff nachgewiesen werden …” „… in E-Motoren und Generatoren verursacht durch parasitäre hochfrequente Lagerströme …” „… parasitäre hochfrequente Lagerströme, Forschungsvorhaben Nr. 650 I. Forschungsvereinigung Antriebstechnik …”

doi.org/10.51202/9783181023488

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Gleit- und Wälzlagerungen 2023

VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Series: VDI-Berichte

Volume 2415 2023

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A. Heine, J. Klingebiel, S. Hausner Messung der komplexen Wälzlagerimpedanz und des Stromdurchgangsverhaltens zur Charakterisierung von Schmierstoffen – Über neue Ansätze zur Untersuchung des variablen dielektrischen Schmierfilms S. 31-46

„… elektrischen Antriebsanwendungen auftreten. Das Phänomen der parasitären Ströme ist von drehzahlvariablen …” „… , both the exposed machine elements and the lubricant in the respective gap are damaged, leading to a …” „… parasitärer Stromdurchgänge oder die elektrochemische Schmierstoffalterung untersucht werden. Ebenso können …”

J. Loos, J. Fischer Auslegung und Validierung von Wälzlagern in E-Antrieben S. 47-58

„… , insulations or grounding elements must be understood and evaluated using suitable methods. The electrical …” „… wird heutzutage größtenteils über Wechselrichter realisiert. Dabei treten parasitäre Effekte auf, die …” „… hängt von der Höhe der parasitären Motorkapazitäten ab. Schon bei Lagerspannungen von wenigen Volt …”

S. Paulus, A. Gonda, S. Graf, O. Koch Impedanzmodellierung eines Wälzlagers – Vergleich von Näherungsgleichungen zu detaillierter EHD-Simulation S. 5-20

„… bearing capacitance on the basis of the HERTZ deformation of the rolling elements. Their results can …” „… Schaltverlusten [1, 2]. Gleichzeitig induzieren diese Umrichter jedoch parasitäre Spannungen im Antriebssystem …” „… und Breite des Elements. Im Kavitations-gebiet wird davon ausgegangen, dass der Schmierstoff den …”

F. Halmos, M. Bartz, S. Wartzack Schadens- und Ausfallmechanismen bei Wälzlagern unter Schwenkbewegungen S. 321-402

doi.org/10.51202/9783181024157

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Akustische-Oberflächenwellen-Motor mit nichtpiezoelektrischem Statorwerkstoff

Richard Günther

Series: Elektrotechnik

Volume 423 2021

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Experimentelle Untersuchungen S. 100-129

„… wichtig ist, sind beide Elemente vor dem Aufsetzen des Läufers zunächst mit Alkohol und anschlie- ßend mit …” „… aufgrund einer verringerten Kontaktsteifigkeit durch die Rauheit auszugehen. Parasitäre Wellen Die in …” „… Ausbreitungsrichtung der AOW. Ein Grund für diese Schwankungen können Überlagerungen parasitärer Wellen sein, die an …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XVIII

„… . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 2.1.2 Methoden zur Anregung von akustischen Oberflächenwellen 11 2.1.3 Parasitäre Dämpfung …” „… current DFT diskrete Fourier-Transformation dyn. dynamisch el. elektrisch FEM Finite Elemente Methode gekl …”

Stand der Technik S. 3-41

„… anderen vorgestellten Methoden [24]. 2.1.3 Parasitäre Dämpfung akustischer Oberflächenwellen Elastische …” „… Realität nicht erreicht, verliert eine reale AOW Energie durch die Erzeugung parasitärer Volumenwellen und …” „… (grau) mit piezoelektrischen Elementen (orange) treibt Gewindespindeln (gelb) an: (a) Gesamtansicht …”

Theoretische Untersuchungen S. 46-99

„… erzeugen parasitäre Volumen- und Rayleigh-Wellen in beiden Bauteilen. Zerlegt man den beliebigen …” „… Fertigungsparametern, aber auch zur Überprüfung von Messungen mit Funktionsmustern wird die Finite Elemente Methode …” „… durch parasitär erzeugte Volumen- und Oberflächenwellen. Mithilfe dieser Modelle wurden ein Stator mit …”

doi.org/10.51202/9783186423214

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Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik

Robert Kowarsch

Series: Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik

Volume 1270 2021

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Simulation eines Reflexions-Nanoskops mittels Absorbanzmodulation S. 76-103

„… werden. Das Volumen der AML wird für die numerische Berechnung in finite Elemente in Form von …” „… finden. dem Volumenelement ∆? = (? ∆? ∆? ∆? ) diskretisiert. Innerhalb des finiten Elements wird von …” „… in ? -Richtung1. Dadurch ist die Berechnung für jeden Stapel von finiten Elementen entlang der …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XX

„… ‘) stat Im photostationären Gleichgewicht, statisch, stationär str Störung oder parasitär sub Das Substrat …” „… Phasenregelschleife (engl. ‚Optical Phase-Lock Loop‘) PD Photodetektor PE Peltier-Element PIN Engl. ‚Positive …”

doi.org/10.51202/9783186270085

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Bauingenieur

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Bauingenieur Volume 92 (2017) Issue 02 ISSN Online: 0005-6650

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Heinz Wimmer Zur Statik des schubelastischen Laminatbalkens/On statics of shear elastic composite beams S. 79-86

„… Ableitungen erster Ordnung, wodurch die Formfunktionen von zu entwickelnden finiten Elementen nur C0 …” „… übrigen Variablen gewählt wird. Dadurch entstehen keine „parasitären“ Schubverzerrungen. Durch eine …” „… korrekten Rang aufweist. Für nähere Details siehe [14], [15]. Onate et.al. [16] entwickelten ein Element …”

doi.org/10.37544/0005-6650-2017-02

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