Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik
Zusammenfassung
Die vorliegende Dissertation wendet sich an Ingenieure und Wissenschaftler im Bereich der optischen Schwingungsmesstechnik und hochauflösenden Mikroskopie (Nanoskopie). Sie befasst sich mit der Modellierung und Simulation von zwei zentralen Herausforderungen der Gerätetechnik der heterodynen Laser-Interferometrie für die Schwingungsmessung an Mikrosystemen bis zu 6 GHz. Zum einen wird die Auswirkung der Gigahertz-Trägererzeugung mittels phasengekoppelter Laser in einer optoelektronischen Phasenregelschleife auf die Auflösung für Schwingungsamplituden im Subpicometer-Bereich theoretisch untersucht und im Experiment demonstriert. Zum anderen wird mittels reversibel optisch schaltbarer Absorbanz in einer photochromen Dünnschicht ein Verfahren zur örtlichen Hochauflösung jenseits der
Beugungsgrenze für die Reflexionsmikroskopie untersucht. Anhand der Erkenntnisse werden Näherungsformeln sowie Hinweise für die Anwendung gegeben.
Symbolverzeichnis IX
Kurzfassung XIX
1 Einleitung ...
Schlagworte
Optische Messtechnik Lasermesstechnik Laserinterferometrie Vibrometrie Schwingungsmesstechnik optische Phasenregelschleife Heterodynverfahren Superresolution-Mikroskopie Nanoskopie Absorbanzmodulation- 1–12 1 Einleitung 1–12
- 133–150 8 Experimente 133–150
- 169–182 Literaturverzeichnis 169–182
8 Treffer gefunden
- „... einem SAW-Filter demonstriert. Anhand der Messergebnisse erfolgt eine Diskussion des gemessenen ...” „... SAW-Filter 8.2 Schwingungsmessung an einem SAW-Filter Für die Demonstration einer Schwingungsmessung an ...” „... HF-Mikrosystemen wird eine Messung an dem SAW-Filter B3531 von EPCOS AG durchgeführt. Dieses Bauelement dient der ...”
- „... die Nachrichtentechnik in hoher Stückzahl mikroakustische Hochfrequenz-(HF)-Filter in hochfunktionalen ...” „... Nutzung der verfügbaren Bandbreiten [11, 39]. In diesen mikroakustischen Filtern werden die elektrischen ...” „... elektromagnetischen Welle um etwa einen Faktor 10 000 kleiner ist, können so mikroakustische Filter kompakter ...”
- „... Gleichtakt-Unterdrückung im Interferometer Tiefpass Tiefpass IC2 Bias + FilterBias + Filter Signalfilter Anpassnetzwerk ...”
- „... Oberflächenwelle auf einem mikroakustischen Filter bei 315MHz demonstrierte die Messfähigkeit des ...” „... des Oberflächenwellen-Filters erreicht. In der weiteren Ausbaustufe wurde eine stabile Trägerfrequenz ...” „... Oberflächenwellen-Filter bei 315MHz und einer Amplitudenauflösung von 290 fm/ √ Hz demonstriert. Die Analyse des Rauschens ...”
- „... Slave-Laser �c Referenzstrahl Messstrahl PD2 PD1 LO ST ST ST ST PD3 Filter + _ i(t) VWP Messobjekt Sp HWP ...” „... Frequenzdifferenz-Regelung zur Trägererzeugung Signalgenerator LOel Schleifen-Filter Photodetektor PD3 Master- Laser ...” „... ) Bandbreiten-Erweiterung durch schmalbandige Filterung und Auswertung der oberen Seitenlinie. von unterem und oberem ...”
- „... . 54855-97015. 2004. [5] Aigner, R.; Fattinger, G.: 3G - 4G - 5G: How BAW Filter Technology Enables a Connected ...” „... . von Harding, K. Bd. 20135538. Taylor & Francis, 2013, S. 157–238. [11] Balysheva, O. L.: SAW Filters ...” „... Filter. 1999. [53] Fattinger, G. G.; Tikka, P. T.: Modified Mach-Zender Laser Interferometer for Probing ...”
- „... . . . . . . . . . . . . . . . . 133 8.2 Schwingungsmessung an einem SAW-Filter . . . . . . . . . . . . . . . . 135 8.2.1 Messung bei ...” „... Oberflächenwellen-Filter bei 315MHz demonstriert. Die erreichte Amplitudenauflösung von ≤ 100 fm/ √ Hz für ...”
- „... eines piezoelektrischen Mikrosystems (z. B. eines SAW-Filters) erfordert die numerische Simulation für ...” „... Berechnung der Größenordnung der Sensitivität wird ein SAW-Filter aus Lithiumniobat26 angenommen, der von ...”