Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften
Zusammenfassung
Die vorliegende Arbeit richtet sich an Ingenieure und Wissenschaftler, die sich für Herstellung, Eigenschaften und Anwendungspotentiale von nanokristallinen Diamantschichten interessieren. Im Fokus dieser Arbeit stehen die mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften von nanokristallinen Diamantschichten. Diese hängen von der Korngröße und der Struktur der Korngrenzen der Diamantschichten ab. Es wird auf einige Synthese-Parameter der verwendeten chemischen Gasphasenabscheidung eingegangen, mit Hilfe derer die Eigenschaften der synthetisierten Diamantschichten optimiert werden können. Unterschiedliche Verfahren werden genutzt um mechanische, elektrische und thermische Eigenschaften der Schichten zu charakterisieren. Mikromechanische Modelle werden verwendet um aus den ermittelten Materialkennwerten der Diamantschichten auf die Einflüsse der Korngrenzen zu schließen.
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Schlagworte
Chemische Gasphasenabscheidung Nanokristalliner Diamant Bruchspannung Poissonzahl Plastische Verformung Wärmeleitfähigkeit elektrische Leitfähigkeit- Kapitel Ausklappen | EinklappenSeiten
- 1–4 1 Einleitung 1–4
- 5–45 2 Grundlagen 5–45
- 164–165 7 Summary and Outlook 164–165
- 166–207 A Anhang 166–207
- 208–238 Literaturverzeichnis 208–238