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„… möglich, Präzisionsbewegungen im Submikrometerbereich auszuführen.“ Die Stellmotoren sind aber nicht nur …”

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„… , Präzisionsklasse P1 gemäß FprEN 308:2021. Symbol θ22,S θ11,S θ21,S Δθ22 Δθ11 Δθ21 qv2 qv1 qvl2 qvl1 n pa φ11 φ22 Δp …” „… 0,750 ± 0,023 in Abhängigkeit des Exponenten n (Wintermesspunkt, Präzisionsklasse P1 gemäß FprEN …” „… , Präzisionsklasse P1 • Standardabweichung der Temperaturschwankungen 0,05 K, weitere Schwankungen von Messgrößen …”