„… (MEMS) besteht im Allgemeinen aus einem mikromechanischen Element, dem mechanischen Sensor oder Aktor …” „… MEMS-Elemente, so kann man MEMS-Sensoren und MEMS-Aktoren unterscheiden, wobei es auch MEMS-Elemente gibt, die …” „… Aktoren und Sensoren zugleich sind. Bei MEMS-Sensoren lassen sich die Strukturen in der Regel durch eine …”

„… algorithmus weitergegeben, die dann einen Korrekturfaktor berechnet. Anschließend wird über eine Aktorik …” „… untersuchtes Profil (b) Bauteil Prozessregelung Aktor Messsystem Antrieb Halbzeug Aktueller Prozess …” „… sowie Sensorik und Aktorik abgeleitet [7]. An dieser Stelle fand eine intensive Zusammenarbeit mit dem …”

„… wäre. In einem ersten Arbeitsschritt wurde ein exemplarischer thermomechanischer Aktor entwickelt und …” „… Bedingungen untersucht werden kann [8]. Zur Erwärmung des Aktors wird eine handelsübliche Infrarot-LED mit …” „… thermische Ausdehnung des Aktors führt zu einer Verlagerung der Werkzeugspitze von circa Dr = 300 nm (Bild …”

„… Orbit-Motor ist ein mechanischer Aktor, der den hydraulischen Druck sowie die hydraulische Strömung in …”

„… Aktor und einer Kontrolleinheit. „Der Aktor wird zunächst an das Bauteil angebracht – etwa mit einer …” „… anschlie- ßenden Kalibrierung stößt der Aktor das Bauteil einmal an. Auf diesem Weg ermitteln wir dessen …”

„… ist, d. h. vollkommen ohne störende Schleppkabel für Aktorik und Sensorik auskommt. Schädliche …” „… . Bild 4. Dieser nimmt nun im neuen 6D-Direktantrieb als Aktor- und Führungselement jeweils anstelle …” „… ein Vertikalantrieb. Von diesem wurden drei als Aktor- und Führungselemente in einen planaren 3 …”

„… Lebensmittelindustrie qualifizieren. Elektronik und Regelungstechnik in den Aktoren Allengra plant für die kommenden …” „… die Aktoren sind heute entscheidend, sondern die Sensorik, die in den Aktoren integriert wird. Mit …”

„… Vielzahl an Lösungen für anspruchsvolle Einsatzbedingungen ab. Aktorik Bremsen …”

„… einer Platooning-Funktion mit notwendiger Sensorik, Aktorik sowie Intelligenz in den Steuergeräten …”

„… Schwingungen des Maschinengestells reduzieren. „Pneumatische Muskeln“ mit Aktorik und Sensorik (im Ausschnitt …” „… erwei-tert die passive Variante um eine zwi-schen Antrieb und Maschinengestell inte-grierte Aktorik und …” „… zusätzlichen Aktors reduziert. Um die Eigenschaften und Vor-teile aktiv ruckentkoppelter Vorschub -achsen zu …”

„… Genauigkeit bei der Her-stellung künftiger Chipgenerationen bei. Des Weiteren werden Sensor-Aktor- Lösungen …”