„… vor Ort Detektivarbeit betreibt. Automatisierte Fehlererkennung und -diagnose (FED) kann diesen …” „… FehlererkennungBei der FED unterscheidet man verschie-dene Herangehensweisen: regelbasierte, modellbasierte und …” „… einfachen Wenn-Dann-Abfrage zu finden.Eine modellbasierte Fehlererkennung beschreibt das System aus …”

„… Flüssigkeit im Behälter zum Schwappen angeregt wird, stellen sich ähnlich wie beim Feder-Masse-System …” „… Schwappfrequenz weiterer Tankgeometrien sind in [10], [11] gegeben. Bild 2 Gegenüberstellung Feder-Masse System …” „… versteht man die Ankopp-lung eines Feder-Masse-Systems, welches so ausgelegt wird, dass das …”

„… verbraucht. In dem darauffolgenden Fed-Batch findet substratlimitiertes Wachstum statt. Durch ein …” „… Verwertung von Methanol beschleunigt werden [HIGGINS & CREGG, 1998]. Deswegen dient der Glycerol-Fed …” „… ] [AU] [%] SM 34 10 gP2/X gP2/X pO2 cXL cS1Mhplc cS2M cXLcdw cS1M cS2M pO2 AP1M t [h] AP1Mat batch fed …”

„… ............................................................................... 10  3.3.2  Der substratlimitierte Glycerol-Fed …” „… für Glycerol [gl -1] MI Molare Masse von Komponente I [gmol -1] mIK Masse von Komponente I in …” „… Teilsystem K [g] mK Masse von Teilsystem K [g] NSt Rührerdrehzahl [min -1] pG Überdruck in der Gasphase …”

„… NetzMNetz2 Feder Seismische Masse Kapazität 1 Kapazität 2 Verdrahtung Bondpad Sensier- Richtung Parasitäre …” „… . Federn, Elektroden und seismische Massen) eines MEMS-Elements anhand vordefinierter Regeln erkennen. Die …” „… können, sind auch hier u. a. zahlreiche MEMS-Sensoren nötig [1]. Ein mikroelektromechanisches System …”

„… eines Beschleunigungssensors durchgeführt. Dieser besteht vereinfacht aus einem zwei-Feder-Masse-System …” „… ). Masse Federn (b) Beschleunigungssensor als zwei-Feder-Masse- System. Netz1 NetzM Netz2 (c …” „… Basis von Kompaktmodellen [38, 73] liefern eine effiziente System-Simulation, können aber dynamische …”

„… 1 NetzMNetz2 Feder Seismische Masse Kapazität 1 Kapazität 2 Verdrahtung Bondpad Sensier- Richtung …” „… . Charakteristisch ist die zwischen zwei Federn aufgehängte seismische Masse, die durch eine von einer Beschleunigung …” „… mechanischen Strukturen wie Federn und Brücken für die Kreuzung zweier Leiterbahnen) elektrisch verbinden. Das …”

„… wesentlichen Komponenten, wie beispielsweise Federn, Elektroden und seismische Massen, aus der Chip-Geometrie …” „… System-ModellManuelleOptimierung MEMS-ASIC Ko-Simulation Elektrostatik- Analyse Berechnung ausgelenkter Zustände Abbildung 4.1 …”

„… abzubilden [30]. In Abb. 3.4 ist dieses Prinzip an einem einfachen Masse-Balken-System dargestellt, wobei der …” „… 3 MEMS-Entwurf Wie bereits in Abschnitt 1.1 erläutert, besteht ein mikroelektromechanisches System …” „… (MEMS-System) in der Regel aus einem mikromechanischen Element (MEMS- Element) und einem separaten …”

„… Struktur in einem MEMS-Element, wie beispielsweise Federn oder Kamm-Strukturen. Die Grundkomponenten sind …” „… : Markierung des Kernbereichs (türkis) und der Peripherie (lila). MEMS Ein mikroelektromechanisches System …” „… Antriebs-Struktur zwei seismische Massen in orthogonale Richtungen bewegen, wodurch sich Drehungen um die beiden …”

„… Entwickler relevanter Funktionselemente wie Federn, Elektroden oder seismische Massen, denen sich die …” „… identification of MEMS components such as springs, electrodes, or the seismic masses. Based on this data, the …” „… MEMS parts and their synchronisation within the entire system in early design stages. VIII …”

„… Amplitudenspektren der zweidimensionalen Feder-Dämpfer-Masse-Systeme mit den aus den Messwerten entwickelten …” „… ) Masse-Feder-Dämpfer-Modell des Werkstücks; (c) Masse-Feder-Dämpfer-Modell der Schleifscheibe Bild 2. Vereinfachte …” „… dissipativem Kraftanteil aus den Masse-Feder-Dämpfer-Modellen aus Bild 3 (b) und (c) hergeleitet. Die …”

„… Feder-Dämpfer-Elemente an das Maschinengestell angebunden. Hierbei wird eine me-chanische Filterung der dynamischen …” „… resultieren aus dem zusätzlich benötigten Führungs-system, das aufgrund der hohen Anziehungskräfte des …” „… , besonders bei langen Vorschubachsen. Des Weiteren steigen in gleichem Maße auch die Reibungsverluste durch …”

„… statischer Steifigkeit bei minimaler bewegter Masse sowie dem vermehrten Einsatz von Lineardirektantrieben …” „… Reaktionsmasse wird über biegeweiche Federn mit der Grund-platte verbunden, sodass sie translatorisch nahezu frei …” „… Elektromagnete und Spulen in die Reaktions-masse mR wird deren Masse zusätzlich genutzt, um die Aus -lenkungen …”