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Axel Hald - Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

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Axel Hald

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 473 2020

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MEMS-Entwurf S. 25-47

„… 3 MEMS-Entwurf Wie bereits in Abschnitt 1.1 erläutert, besteht ein mikroelektromechanisches System …” „… bereits fest definierten mechanischen Strukturen innerhalb eines Chips. Der MEMS-Entwurf wird aus diesem …” „… zentrale Herausforderung beim Entwurf eines MEMS-Elements ist, dass die mikromechanischen Strukturen die …”

Einleitung S. 1-9

„… MEMS Beim Entwurf von MEMS muss hinsichtlich der Entwurfsdomänen ein heterogenes System gehandhabt …” „… werden, welches wiederum heterogene Teilsysteme enthält (Abb. 1.3). Für den Entwurf hochoptimierter MEMS …” „… beiden Domänen ermöglicht. Für den Entwurf solch komplexer MEMS-Elemente hat sich daher ein sequenzieller …”

Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben S. 138-140

„… des MEMS-Elements schon während des Entwurfs genau zu analysieren. Nur so kann verhindert werden, dass …” „… - Elements schon während des Entwurfs charakterisieren kann, desto besser lassen sich das MEMS-Element und …” „… MEMS-Drehratensensor demonstriert und an charakterisierten Teststrukturen verifiziert. Im polygonbasierten Entwurf …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis

„… – Elektrostatik-Analyse – MEMS-Entwurf – Field-Solver – polygonbasierter Entwurf – parasitäre Kapazität – Prozess …” „… . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 3 MEMS-Entwurf 25 3.1 Entwurf der mikromechanischen Strukturen . . . . . . . . . . . . . . 25 3.2 …” „… 0178-9473, € 62,00/VDI-Mitgliederpreis € 55,80. Für die Dokumentation: MEMS-Sensoren – Parasiten-Extraktion …”

Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3DField- Solvern basierenden Elektrostatik-Analyse S. 51-70

„… Field-Solver aus dem Elektronik- Entwurf ist eine effiziente Modellierungs-Methode für die MEMS …” „… des Elektronik-Entwurfs kann diese MEMS-typischen Prozess-Schritte nicht nativ abbilden [70]. In …” „… Topographien im Schicht-Aufbau Im MEMS-Entwurf führt man in der Regel während des Zeichnens und Optimierens der …”

Präzisierung der Aufgabenstellung S. 48-50

„… technische Entwicklung zu immer kleineren und gleichzeitig leistungsfähigeren MEMS-Systemen. Dies hat zur …” „… , entstehen. In kapazitiven MEMS-Inertialsensoren können diese parasitären Kapazitäten zu Verzerrungen von …” „… , hochoptimierten MEMS-Inertialsensoren lassen sich parasitäre Kapazitäten aufgrund der Chip-Geometrie nicht …”

Kapazitive MEMS-Inertialsensoren S. 10-24

„… es für einen robusten MEMS- Entwurf notwendig, eine neue Analyse-Methode zur Erfassung dieser …” „… 2 Kapazitive MEMS-Inertialsensoren Kapazitive MEMS-Inertialsensoren - dies sind Sensoren zur …” „… ). Sie sind neben den MEMS-Drucksensoren die schon am längsten in Serienfertigung produzierten …”

Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung S. 132-137

„… Methode an einem Anwendungsfall aus dem MEMS-Entwurf demonstriert. Das Kapitel schließt mit einer …” „… Demonstration Die Kombination der Analyse-Methoden wird an einem dreiachsigen MEMS-Drehratensensor demonstriert …” „… 8.3) auf zwei symmetrischen Kanälen des MEMS-Sensors aus Abb. 7.13. Rot umrahmt sind Ausreißer-Werte …”

Methode zur polygonbasierten Schaltplan-Extraktion mit einer regelbasierten Strukturerkennung S. 71-114

„… notwendigen Regeln basieren auf den durch den Entwurf bekannten Architekturen eines MEMS-Typs und beschreiben …” „… polygonbasierten Entwurfsprozess liegen die MEMS-Strukturen nur als Polygon- Beschreibung vor (vgl. Abschnitt 3.4.3 …” „… und seismische Massen) eines MEMS-Elements anhand von Regeln in der Chip-Geometrie erkennen (Abb. 6.1 …”

Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung S. 115-131

„… eine präzise Simulation des mechanischen Verhaltens eines MEMS-Elements existieren verschiedene …” „… der MEMS- Strukturen. Diese Auslenkungs-Zustände kann der neu entwickelte, sogenannten …” „… quasi-elektrostatischen Analyse wird in Abschnitt 7.3 an einem realen MEMS-Sensor demonstriert und in Abschnitt 7.4 …”

doi.org/10.51202/9783186473202

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VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Baudynamik 2022

Series: VDI-Berichte

Volume 2379 2022

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C. Jonscher, B. Hofmeister, T. Grießmann, R. Rolfes Optimierte Messkette zur Erfassung tieffrequenter Strukturdynamik S. 439-450

„… Frequenzbereich MEMS Beschleunigungssensoren eingesetzt. Für ein besseres Sig-nal-zu-Rausch-Verhältnis ist der …” „… Einsatz von rauschärmeren IEPE Sensoren eine interessante Alternative. Im Gegensatz zu MEMS Sensoren …” „… wird der Entwurf einer Messkette vorgestellt, welche den Einsatz von IEPE-Sensoren im Frequenzbereich …”

M. Baeßler, R. Herrmann, F. Hille, F. Wille Dynamisches Verhalten und Überwachung des Großen Fallturms der BAM in Horstwalde S. 265-284

„… der Entwurf unter Einhaltung von Zeit- und Kostenrahmen nur geringe Spielräume. An der Bundesanstalt …” „… for vibration analysis of bridge structures using MEMS accelerometers, Journal of Applied Geodesy, Jg …”

doi.org/10.51202/9783181023792

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wt Werkstattstechnik online

Browse Volumes: wt Werkstattstechnik online

wt Volume 113 (2023) Issue 11-12 ISSN Online: 1436-4980

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U. Klaus Kögler Additiv gefertigte Reservoirs für mikrofluidische Chips/Additively manufactured on-chip reservoirs as an interface to microfluidic microchips S. 557-562

„… („reviewed paper“).Fluidische Anbindung von Silizium-basierten Mikrofluidischen MEMS-Chips an die …” „… N G Mikrofluidische MEMS-Chips führen, analysieren und verarbeiten Fluide und Gemische. Silizium …” „… MEMS-chips analyze, channel and process fluids and slurries. Monocrystalline silicon as the chip material …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2023-11-12

Uli Christian Blessing - Antriebsstrang eines Hybridfahrzeugs: Modellierung, Simulation und Bewertung

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Uli Christian Blessing

Antriebsstrang eines Hybridfahrzeugs: Modellierung, Simulation und Bewertung

Series: Elektrotechnik

Volume 420 2020

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Titelei/Inhaltsverzeichnis

„… Systementwurf, über die Integration bis hin zur Validierung. Für die Anforderungsanalyse bzw. den Entwurf wird …” „… kg MBR Bremsmoment auf Radbasis Nm mb Anzahl der Bedingungen für die Betriebsstrategie – MEM …” „… ,Luf Elektrisches Moment der E-Maschine im Luftspalt Nm MEM,max Maximales Moment der E-Maschine auf E-Maschinenbasis …”

doi.org/10.51202/9783186420213

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Bauen+

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Bauen+ Volume 7 (2021) Issue 6 ISSN Online: 2363-8125

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Lukas Baumgärtel, Timo Kaufmann, Katharina Klemt-Albert Nachhaltigkeitsbewertung von Gebäuden mit der Methode BIM. Ansätze zur modellbasierten Zertifizierung der Nachhaltigkeit S. 42-48

„… wird in der Regel eine Modellelementmatrix (MEM) bzw. Bauteiltyptabelle zwischen allen …” „… Darstellungsformen der jeweiligen Kriterien sind anschließend zur einheitlichen Strukturierung in einer MEM …” „… Objektattribute am Objekttyp »Tür« in desite MD Prosung der MEM bzw. der Anforderungsübersetzung (5) und somit …”

doi.org/10.51202/2363-8125-2021-6

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