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Markus Mohr - Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften

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Markus Mohr

Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften

Series: Grund- und Werkstoffe/Kunststoffe

Volume 761 2017

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Titelei/Inhaltsverzeichnis

„… – Nanokristalliner Diamant – Bruchspannung – Poissonzahl – Plastische Verformung – Wärmeleitfähigkeit – elektrische …” „… nanokristallinem Diamant . . . . . . . . . . . . 17 2.2.3 Anteil der Korngrenzen am Gesamtmaterial …” „… nanokristallinem Diamant . . . . . . . 117 4.4 Elektrische Leitfähigkeit …”

Diskussion der Ergebnisse S. 139-161

„… , dass von Mo et al [147], durch Simulationen von Nanoindentationen in nanokristallinen Diamant ’Grain …” „… Diamantclustern zugerechnet, charakteristisch für nanokristalline Diamantfilme [269]. Die Peaks bei 1157 cm−1 und …” „… al [331] haben gezeigt, dass Bruch in nanokristallinem Diamant dadurch entsteht, dass Körner entlang …”

Grundlagen S. 5-45

„… einkristallinem Diamant zu nanokristallinem Diamant, welcher sowohl aus Kristalliten mit Diamantstruktur, als auch …” „… Struktur von nanokristallinem Diamant Nanokristalliner Diamant ist aus Kristalliten mit nanoskaligen …” „… als Korngrenzen bezeichnet werden. Dadurch ist die Struktur von nanokristallinem Diamant auf …”

Zusammenfassung und Ausblick S. 162-163

„… 6 Zusammenfassung und Ausblick Im Rahmen dieser Arbeit wurden nanokristalline Diamantfilme mittels …” „… Behandlung ändern. Die Messung der thermischen Leitfähigkeiten von nanokristallinen Diamantfilmen ergab, dass …” „… nanokristallinen Diamantschichten. Auf der anderen Seite geben die Ergebnisse interessante Hinweise für die …”

Einleitung S. 1-4

„… • Die Prozessparameter zur reproduzierbaren Herstellung großflächiger nanokristalliner Diamantschichten …” „… nanokristallinen Diamantfilmen sind beispielsweise folgende Fragestellungen hochrelevant, aber noch völlig offen …” „… nanokristallinen Diamantschichten gegenüber relativ spröden mikrokristallinen Diamantschichten verbessert werden …”

Experimentelle Ergebnisse und Modellierung S. 88-138

„… Diamantfilme belegt ist. Da bei der Nanoindentation eine Diamantspitze auf die nanokristalline Diamantprobe …” „… -) nanokristalline Diamantfilme zu wachsen. 88 4.1 Synthese von (ultra-)nanokristallinen Diamantschichten Es muss …” „… Experimentelle Ergebnisse und Modellierung wurde bereits gezeigt, dass der Bruch von nanokristallinem Diamant der …”

Experimentelle Methoden S. 46-87

„… einem nanokristallinen Diamantfilm dargestellt. Zu sehen ist der Diamant (111)-Peak, der Diamant (220 …” „… Siliziumoberfläche (b) Gleiche Probe nach 30 Minuten Wachstum von nanokristallinem Diamant In Bild 3.1(a) ist die …” „… makroskopische, freistehende Balkenstrukturen aus nanokristallinem Diamant zu erzeugen. Die erzeugten Balken …”

Anhang S. 166-207

„… Vortrag: M. Mohr, "Nanokristalliner Diamant - Ein innovatives Material für die Mikrosystemtechnik" 2014 …” „… von Diamant Eine einfache Möglichkeit dicke Diamantfilme relativ schnell zu strukturieren ist, abseits …” „… Parameter waren Tabelle A.16: Parameter zur Laserstrukturierung von nanokristallinen Diamantschichten …”

Literaturverzeichnis S. 208-238

„… . [307] M. Gerster, ,,Mikrostrukturierung von nanokristallinen Diamantfilmen durch Reaktives Ionenätzen …” „… Wasserstoffterminiertem und Bor-dotiertem Diamant,’’ Studienarbeit, Universität Ulm, 2010. [116] S. G. Lekhnitskii, Theory …” „… . 21, Nr. 3, S. 183--185, 1982. [38] K. Janischowsky, ,,Wachstum hochorientierter Diamantschichten auf …”

doi.org/10.51202/9783186761057

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wt Volume 109 (2019) Issue 01-02 ISSN Online: 1436-4980

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E. Uhlmann, W. Reimers, K. Brömmelhoff, G. Christiansen Hochleistungsbohrwerkzeuge für CFK*/High performance drilling tools for CFRP – Wear and performance of CVD-diamond coatings S. 35-39

„… höheren Oberflächenrauheit zu rechnen. Nanokristalline CVD-Diamantschichten weisen aufgrund der …” „… Eigenspannungszustände der CVD-Diamantbeschichtung durch die Kombination der mikround nanokristallinen Beschichtung zu …” „… Anwendungszweck wurden Bohrwerkzeuge mit verschiedenen CVD-Diamant beschichtungen sowie Hartmetallsubstraten …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2019-01-02

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Konstruktion Volume 74 (2022) Issue 10 ISSN Online: 0720-5953

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Spezialwerkzeuge mit Premium-Beschichtung

„… Materialien auf erstklassige Präzisionswerkzeuge angewiesen. Durch Diamant-Beschichtungen kann die …” „… – beispielsweise auf dem Gebiet diamant-beschichteter Wendeschneidplatten.Wer die Produktion von Alsameca in …” „… Wendeschneidplatten von Alsameca und den Diamant-Beschichtungen von Ceme-con erreiche hervorragende Ergebnisse beim …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2022-10

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wt Volume 109 (2019) Issue 07-08 ISSN Online: 1436-4980

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D. Hinzmann, E. Uhlmann Einsatzverhalten von CVD-Diamantdünnschichtwerkzeugen*/Tool behavior of CVD-diamond thin film tools S. 563-569

„… CVD-Diamant-Verschleißschutzschichten [7]. Obwohl CVD-Diamantdünnschichtwerkzeuge erhebliches Potenzial für Bearbeitungsvorgänge von …” „… marktübliche, kobaltbasierte Hartmetalle, welche mit einer nanokristallinen CVD-Diamantdünnschicht …” „… Herausforderungen [4]. Durch den Einsatz hochharter Schneidstoffe wie Diamant, welcher sich durch die Kombination …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2019-07-08

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wt Volume 111 (2021) Issue 07-08 ISSN Online: 1436-4980

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Eckart Uhlmann, Tobias Holznagel, Sebastian Ospina Mora Körperschallemission in CFK und Fräswerkzeugen/Acoustic emission in CFRP and milling tools – Analysis of emitted acoustic emission in analogous experiments S. 495-500

„… nanokristallinen Diamantschicht konnten ebenfalls aufgezeichnet werden. Die Signalmaxima liegen im Mittel bei u …” „… Werkzeugverschleißraten aufgrund der hochabrasiven Kohlenstofffasern. Daher werden derzeit vornehmlich diamant …” „… . Bei den Probenkörpern handelt es sich um mikro- oder nanokristallin beschichtete Hartmetallzylinder …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2021-07-08

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