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Axel Hald - Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

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Axel Hald

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 473 2020

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MEMS-Entwurf S. 25-47

„… MEMS-Elements durchgeführt werden kann (siehe Abschnitte 3.2 und 3.3). Dynamische parasitäre Effekte, wie sie 30 …” „… typischerweise auf der Finite- Elemente-Methode (FEM) basierende Verfahren eingesetzt. Je nach Anwendungsfall 26 …” „… (MEMS-System) in der Regel aus einem mikromechanischen Element (MEMS- Element) und einem separaten …”

Einleitung S. 1-9

„… die auftretenden parasitären Kapazitäten des MEMS-Elements sehr genau (und voneinander unterscheidbar …” „… (MEMS) besteht im Allgemeinen aus einem mikromechanischen Element, dem mechanischen Sensor oder Aktor …” „… und einem separaten mikroelektronischen Element, der Auswerteschaltung. Diese Schaltung ist …”

Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben S. 138-140

„… . Neben den elektrostatischen parasitären Effekten in der Ruhelage können in MEMS- Elementen aufgrund der …” „… MEMS-Elemente. Dadurch ist es möglich, den Einfluss der elektrostatischen parasitären Effekte durch gezielte …” „… MEMS-Elemente immer noch in einem polygonbasierten Entwurfsprozess entwickelt, aus dem nur eine reine 2 …”

Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung S. 132-137

„… parasitären Kapazitäten auf Basis der erkannten Topologie-Elemente in der Chip-Geometrie ermöglicht. 8.1 …” „… parasitären Kapazitäten zwischen den Topologie-Elementen und den Verdrahtungs-Strukturen (vgl. Abb. 8.2 und …” „… parasitäre Kapazitäten gezielt in der Chip-Geometrie anhand von erkannten Topologie-Elementen zu lokalisieren …”

Kapazitive MEMS-Inertialsensoren S. 10-24

„… MEMS-Typen anwenden oder übertragen kann. Gängige MEMS-Elemente werden aus Silizium hergestellt, da dieses …” „… lassen. Wafer 3 Wafer 2 Wafer 1 Abbildung 2.2: Schematischer Querschnitt eines MEMS-Elements, das durch …” „… . B. [12, 13, 14]). Material einbringen: In oberflächenmikromechanischen MEMS-Elementen werden u. a …”

Präzisierung der Aufgabenstellung S. 48-50

„… Folge, dass neben den nichtlinearen mechanischen Effekten auch die parasitären elektrostatischen Effekte …” „… zwischen Verdrahtungen und mechanischen Strukturen unerwünschte, sogenannte parasitäre Kapazitäten …” „… , entstehen. In kapazitiven MEMS-Inertialsensoren können diese parasitären Kapazitäten zu Verzerrungen von …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis

„… in MEMS- Elementen aufgrund der beweglichen Strukturen auch bewegungsabhängige parasitäre Kapazitäten …” „… Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen SE …” „… RV ER Technische Universität Dresden Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in …”

Glossar S. 141-144

„… Rand-Element-Methode (engl. boundary element method - BEM). 7 Ableiten der Topologie-Elemente und Regeln Die Ableitung …” „… von Topologie-Elementen und Regeln bezeichnet den Vorgang, bei dem eine generische …” „… Architekturbeschreibung mittels Topologie-Elementen und zugehörigen Regeln in eine ausführbare Form für eine MEMS-Element …”

Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung S. 115-131

„… eine präzise Simulation des mechanischen Verhaltens eines MEMS-Elements existieren verschiedene …” „… bewegungsabhängiger, d. h. positionsabhängiger parasitärer Kapazitäten, steht jedoch bisher noch nicht zur Verfügung …” „… . Im Folgenden werden diese parasitären Kapazitäten, wie in Abschnitt 2.2.3 eingeführt, als dynamische …”

Methode zur polygonbasierten Schaltplan-Extraktion mit einer regelbasierten Strukturerkennung S. 71-114

„… resultierenden Netzliste entspricht jedes Sub-Netz dadurch genau einem Topologie-Element, wodurch die parasitären …” „… Ausgleich (Symmetrisierung) der parasitären Kapazitäten. Durch adäquate Definition der Topologie-Elemente …” „… Zuordnung der extrahierten Werte, sowie eine Trennung zwischen funktionellen und parasitären Kapazitäten …”

Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3DField- Solvern basierenden Elektrostatik-Analyse S. 51-70

„… Elektrostatik-Analyse Für die Entwicklung zuverlässiger und robuster MEMS-Elemente ist eine neue Methode für die …” „… MEMS-Elements treffen lassen, muss die Analyse eine Genauigkeit erreichen, die besser ist als die typisch zu …” „… hochoptimierter MEMS-Elemente. Ein naheliegender Ansatz wäre, eine hochgenaue Elektrostatik-Analyse mit einer …”

Literaturverzeichnis S. 145-154

„… und Anwendungen der Finite-Element-Methode im Maschinen- und Fahrzeugbau. Wiesbaden: Springer …” „… S. 32, 56, 66, 96, 126). [44] M. Baumann. „Parasitäre Kapazitäten von MEMS-Strukturen in aktuellen …” „… Extracting Structural Elements to Facilitate Automated MEMS Extraction“. In: J. Comput. Inf. Sci. Eng. 3 …”

doi.org/10.51202/9783186473202

Christian Bödeker - Extrinsische und intrinsische Beeinflussungen des Verhaltens von Siliziumkarbid-Leistungshalbleiter-bauelementen

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Christian Bödeker

Extrinsische und intrinsische Beeinflussungen des Verhaltens von Siliziumkarbid-Leistungshalbleiter-bauelementen

Series: Elektrotechnik

Volume 419 2019

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Titelei/Inhaltsverzeichnis

„… ) ................................................ 14 2.3 Parasitäre Elemente …” „… Schaltung eingebrachten parasitären Elemente. Es wird dabei unter anderem der planare M‐ Shunt, der mit dem Koaxialshunt verwandt ist, untersucht. Den Messergebnissen zufolge weist …” „… Elemente allgemein betrachtet. Anschließend erfolgt eine Zusammenfassung der für die Cha‐ rakterisierung verwendeten Messschaltungen sowie der durch notwendige Bestandteile der …”

Messtechnik S. 21-52

„… , sondern auch weitere passive und aktive Schaltungsele‐ mente. Diese parasitären Elemente entstehen nicht nur durch einen mangelhaften Schal …” „… ‐ häuses nicht möglich (siehe auch Abschnitt 2.3). Auch lassen sich die parasitären Elemente …” „… unter Berücksichtigung parasitärer Elemente im Lastkreis +UTreiber t10%ID t2%UDS UDC, ITest t10%UDS uGS uDS, iD t tt2%ID -UTreiber 30 Messtechnik …”

Einleitung S. 1-2

„… . Die Transistoren und Dioden stehen in Wechselwirkung mit ihrer Schaltungsumgebung. Das heißt parasitäre und bewusst eingebrachte Elemente beeinflussen das Verhalten der SiC‐ …” „… sowie die wichtigsten parasitären Elemente und deren Auswirkung auf das Schaltverhalten betrachtet …” „… . Die Voraussetzungen für die messtechnische Untersuchung der Transistoren und Dioden werden in Abschnitt 3 dargelegt. Im Speziellen wird auf die Minimierung der parasitären …”

Grundlagen der Siliziumkarbid-Bauelemente S. 3-20

„… wird aufgeführt, wie parasitäre Elemente sich im Speziellen auf das Schaltverhalten auswir‐ ken. 2.1 Materialeigenschaften …” „… ) vorgegebenen Gate‐Strom iG beeinflusst. 2.3 Parasitäre Elemente …” „… Die Schaltumgebung von SiC‐Bauelementen weist, wie die jedes anderen Halbleiterbau‐ elements, eine Vielzahl an parasitären Elementen auf. Bild 2.22 veranschaulicht dies am Bei …”

Zusammenfassung S. 138-140

„… Analyse der für das Schaltverhalten ausschlaggebenden parasitären Elemente der Schaltum‐ gebung, da diese eine Beeinträchtigung bei der Ermittlung der konkreten Leistungsfähigkeit eines …” „… die parasitären Kapazitäten der einzelnen Spulensegmente bestimmt werden. Die gemesse‐ nen Werte wurden ins Verhältnis zu den Strukturparametern gesetzt, um angenommene …” „… ebenfalls messtechnisch und simulatorisch festgestellt werden, dass das jeweils verwendete Gehäuse mit seinen parasitären …”

Durchlass- und Schaltverhalten von Transistoren S. 82-137

„… auftretenden parasitären Elemente. Das auftretende Schaltverhalten des jeweils verwende‐ ten Transistors wird neben der Beeinflussung durch die verwendete Ansteuerschaltung von …” „… ‐ lich, da der auftretende Effekt bei den geringen Ausschaltenergien vergleichsweise klein ist. Dieses Verhalten ist höchstwahrscheinlich auf die parasitäre …” „… CGS allerdings ein, durch die Miller‐Kapazität bedingtes, parasitäres Einschalten beseitigen …”

Literaturverzeichnis S. 149-169

„… (Studienarbeit (Diplom)). Bremen : Universität Bremen, 2014 [BsA‐Pete16] PETERS, JAN‐HENDRIK: Simulation der Einflüsse von parasitären Elementen …”

doi.org/10.51202/9783186419217

VDI Wissensforum GmbH - SIMVEC Simulation und Erprobung in der Fahrzeugentwicklung 2016

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VDI Wissensforum GmbH (ed.)

SIMVEC Simulation und Erprobung in der Fahrzeugentwicklung 2016

Series: VDI-Berichte

Volume 2279 2016

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C. Bals, K. Gruber, D. Gerling Simulation des elektrischen Antriebsstrangs unter Verwendung des FMI-Standards S. 89-100

„… Auslegung elektrischer Maschinen erfolgt in der Regel unter Verwendung eines Finite- Elemente-Modells …” „… Stromverläufe abbilden zu können. Im Anschluss kann dann der Einfluss der Stromharmonischen auf die parasitären …” „… electrical machines is usually performed with the help of a finite-element-model (FE-model) that is able to …”

doi.org/10.51202/9783181022795

Hans Dieter Benjamin Prautsch - Layout-Generatoren für den Analogentwurf in kleinen Technologieknoten

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Hans Dieter Benjamin Prautsch

Layout-Generatoren für den Analogentwurf in kleinen Technologieknoten

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 478 2022

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Grundlagen zum Analogentwurf S. 9-29

„… werden parasitäre und layoutabhängige Effekte (engl. layout-dependent effects) vorgestellt, die durch …” „… . Layout-Element Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird dieser Begriff als Oberbegriff für Layout-Objekte …” „… eingeführt. Im OpenAccess-Datenformat entspricht dies der „Figure“. Layout-Elemente wer-den genutzt, um die …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis

„… ............................................................................ 64 5.3.2 Generische Layout-Elemente …” „… ............................................................................. 68 5.3.3 Relationen zwischen Layout-Elementen …” „… Deklarative Beschreibung des Layouts. Die im Layout enthaltenen Elemente und deren Relationen zueinander …”

Technologieabstraktion S. 44-79

„… Bau-element-Struktur. Im Entwurf kann das konkrete Verhalten des Bauelements innerhalb einer Schaltung jeweils durch …” „… daher nur auswertbar, wenn alle die Regel betreffenden Layout-Elemente und deren Maße bekannt sind …” „… ??= ??????????.Layout-Element 2:Höhe ℎ2Weite ??2Layout-Element 1:Höhe ℎ1Weite ??1Layout-Element 2:Höhe ℎ2Weite ??2Layout-Element …”

Bottom-up-Beschreibung von Layouts S. 80-109

„… Anzahl an Layout-Elementen erzeugen. Abbil-dung 56 stellt diese Vielfalt der Varianten des …” „… Einsatz, der Layout-Elemente und Relationen speichert. Dadurch wird auch die Analyse und Modifikation …” „… durch den nachträglichen Zugriff auf die Elemente des Layouts möglich (Abbildung 57). 86 Abbildung …”

doi.org/10.51202/9783186478207

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Konstruktion

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Konstruktion Volume 75 (2023) Issue 01-02 ISSN Online: 0720-5953

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Herausforderung Highspeed S. 14-16

„… , Außendurchmesser und Elemente-größe müssen aufeinander abgestimmt sein, um ein schwingungsarmes System zu erhalten …” „… wir-kenden Störgrößen. Diese Störgrößen oder sogenannte parasitäre Kräfte entste-hen oftmals durch …” „… ® Antriebstechnik)Bild 3: Mit den EAS-HSE Highspeed-Elemente-kupplungen hat das Unternehmen Produkte ent-wickelt, die …”

doi.org/10.37544/0720-5953-2023-01-02

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