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Markus Albert Kagerer - Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

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Markus Albert Kagerer

Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

Reihe: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik

Band 393 2017

Treffer in den folgenden Teilen:

Experimente zur Mikrostrukturierung und zur Mikromontage S. 76-91

„… Experimente zur Mikrostrukturierung und zur Mikromontage 76 10. Experimente zur …” „… Mikrostrukturierung und zur Mikromontage Nach der Beschreibung des eigenen Ansatzes und der Realisierung sowohl für …” „… die Mikrostrukturierung als auch für die Mikromontage werden die notwendigen Experimente zu deren …”

Kritik am Stand der Technik S. 26-27

„… Mikrosystemen werden sowohl Mikrostrukturierungs- als auch Mikromontageoperationen benötigt. Kapitel 2 zeigt …” „… aufgelistet werden. Die Defizite in der Mikrostrukturierung von Substraten für Funktionsmodelle sind: Lange …” „… Prozesszeit: Die Mikrostrukturierung von Substraten besteht aus einer wiederholenden Prozessfolge aus …”

Abgrenzung S. 30

„… werden sowohl Mikrostrukturierungs- als auch Mikromontageoperationen durchgeführt. In vorliegender Arbeit …” „… dieser Arbeit, jedoch die rasche und individuelle Mikrostrukturierung von Siliziumsubstraten für …” „… folgernd eine bekannte Prozesstechnik für seine Weiterverarbeitung nach der Mikrostrukturierung existiert …”

Stand der Technik S. 9-25

„… Mikrostrukturierung, um bspw. fluidmechanische Strukturen in Substraten zu erstellen, als auch für die Mikromontage …” „… Mikrostrukturierung von Substraten Die Mikrosystemtechnik geht aus der Mikroelektronik hervor, so dass im Ergebnis …” „… Mikrosystemen bzw. bei der Mikrostrukturierung von Substraten beschrieben. 2.1.1 Prozessablaufplan für die …”

Zusammenfassung und Ausblick S. 119-121

„… Fertigung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik immer zwei Aufgaben. Die Mikrostrukturierung von …” „… Mikrostrukturierung von Silizium und auf das Kleben als eingesetztes Fügeverfahren gelegt. Vorliegend werden für die …” „… Mikrostrukturierung von Siliziumsubstraten sowohl die Laserstrahlmaterialbearbeitung als auch das Trennschleifen …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-X

„… die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die …” „… ........................................................................................................... 9 2.1 Mikrostrukturierung von Substraten …” „… ......................................................................... 9 2.1.1 Prozessablaufplan für die Mikrostrukturierung von Substraten ................ 10 2.1.2 …”

Unterscheidungsmerkmale zum Stand der Technik S. 56

„… die notwendige Mikrostrukturierung als auch für die Mikromontage beschrieben. Es ergeben sich …” „… Mikrostrukturierung nicht auf die Prozessfolge aus Schichtabscheidung, -strukturierung und -ätzung sowie der …” „… ). In dieser Arbeit werden für die Mikrostrukturierung ein Lasersystem und eine Wafersäge benötigt. Es …”

Aufgabenstellung S. 28

„… Funktionsmodelle: die individuelle Mikrostrukturierung von Substraten und die Mikromontage zweier Komponenten. Die …” „… Mikromontage und die Mikrostrukturierung ergeben die Mikrofertigung des Mikrosystems. Die übergeordneten …” „… Mikrosystems mit ausreichend hoher Stückzahl zu prüfen An die Mikrostrukturierung von Siliziumsubstraten …”

Bedeutung der Ergebnisse S. 92-118

„… Ansatzes, der Realisierung und der notwendigen Experimente für die Mikrostrukturierung als auch -montage …” „… Elektrodenzungen. Sowohl die vorgestellten Verfahren für die Mikrostrukturierung als auch der entwickelte …” „… Bedeutung der Ergebnisse 96 11.2.2 Schritt 1: Mikrostrukturierung mittels Laserstrahlung Im ersten …”

Erwartete Vorteile S. 29

„… Stückzahlen zur Verfügung gestellt. Sowohl die Mikrostrukturierungs- als auch die Mikromontageoperationen …” „… Fertigungstechnik werden sich reduzieren. Darüber hinaus werden die Mikrostrukturierungstechniken nicht nur für die …”

Eigener Ansatz S. 31-55

„… Eigener Ansatz 31 7. Eigener Ansatz 7.1 Mikrostrukturierung von Substraten 7.1.1 Werkzeuge …” „… piezoelektrischen Tropfenerzeuger umfasst die Mikrostrukturierung in Siliziumsubstraten bspw. die Erstellung der …” „… Prozessabfolge zur Strukturübertragung Aus diesen Gründen wird für die Mikrostrukturierung von Freiformen und …”

Problemstellung S. 1-8

„… Kombination aus der Mikrostrukturierung von Substraten und aus der Mikromontage von Bauelementen, wie bspw …” „… Tropfenparameter über den Düsenquerschnitt zu variieren. Unabhängig von der Mikrostrukturierung der fluidischen …” „… Fertigung der Funktionsmodelle sowohl aus der Mikrostrukturierung von Substraten als auch aus der …”

Realisierung S. 57-75

„… Mikrostrukturierungs- als auch Mikromontageoperationen verlangt. Nachfolgend wird hierzu die in vorliegender Arbeit für …”

doi.org/10.51202/9783186393098

VDI Wissensforum GmbH - Zylinderlaufbahn, Kolben, Pleuel

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VDI Wissensforum GmbH (Hrsg.)

Zylinderlaufbahn, Kolben, Pleuel

Reihe: VDI-Berichte

Band 2317 2018

Treffer in den folgenden Teilen:

D. Keller, G. Jacobs, A. Kramer, S. Neumann, D. Paulkowski, S. Eifel Reibungsreduzierung dynamischer Elastomerdichtungen durch Mikrostrukturierung der Dichtungsgleitfläche S. 137-152

„… Reibungsreduzierung dynamischer Elastomerdichtungen durch Mikrostrukturierung der …” „… vorgeschlagen, die auf der Funktionalisierung der Gleitfläche im Dichtkontakt durch eine Mikrostrukturierung und …” „… Dichtkontakt durch eine Mikrostrukturierung und Oberflächenbehandlung beruht. Zur Grobauslegung der …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-VI

„… Testing, Köln Reibungsreduzierung dynamischer Elastomerdichtungen durch Mikrostrukturierung der …”

doi.org/10.51202/9783181023174

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wt Werkstattstechnik online

Alle Ausgaben: wt Werkstattstechnik online

wt Jahrgang 112 (2022) Heft 06 ISSN Online: 1436-4980

Treffer in den folgenden Teilen:

Roman Funke, Andreas Schubert, Torsten Schmidt, Jan Edelmann Mikrostrukturierung von Bohrungsmantelflächen/Microstructuring of bore shell surfaces S. 430-435

„… Hocheffiziente Mikrostrukturierung mit umformenden und spanenden Fertigungsverfahren Mikrostrukturierung von …” „… BohrungsmantelflächenR. Funke, T. Schmidt, A. Schubert, J. EdelmannEine gezielte Mikrostrukturierung der Oberfläche von …” „… Ferti-gungsverfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen für industrielle Anwendungen. Es werden zwei …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. 1-6

„… IWU, ChemnitzMikrostrukturierung von Bohrungsmantelflächen*Eine gezielte Mikrostrukturierung der …” „… Fertigungsverfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen für industrielle Anwendungen. Es werden zwei …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2022-06

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wt Werkstattstechnik online

Alle Ausgaben: wt Werkstattstechnik online

wt Jahrgang 98 (2008) Heft 3 ISSN Online: 1436-4980

Treffer in den folgenden Teilen:

C. Brecher, F. Niehaus, M. Merz, C. Wenzel Mikrostrukturierung von Freiformflächen S. 195-199

„… Mikrosystemtechnik, Fertigungstechnik, Drehen Mikrostrukturierung von Freiformflächen Maschinen …” „… spezielle Lichtleitfolien, die über eine Mikrostrukturierung verfügen, in eine planare Lichtquelle überführt …” „… Ultrapräzisionszerspanung neue Möglichkeiten hinsichtlich der Mikrostrukturierung von Frei-formflächen erforscht und …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2008-3

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wt Werkstattstechnik online

Alle Ausgaben: wt Werkstattstechnik online

wt Jahrgang 98 (2008) Heft 10 ISSN Online: 1436-4980

Treffer in den folgenden Teilen:

A. Schubert, R. Pohl Fließpressen von Mikrostrukturen * S. 855-859

„… Mikrostrukturierung vor. Neben der Entwick lung geeigneter Werkzeugsysteme stehen Untersuchungen zum Einfluss von …” „… Kleinstteilen werden zunehmend Verfahren notwen-dig, die eine definierte Mikrostrukturierung auf großen Flä-chen …” „… integrierten Pie-zosensoren und -aktoren“ die Erforschung von Technologien zur flächigen Mikrostrukturierung …”

doi.org/10.37544/1436-4980-2008-10

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