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Matthias Thiele - Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler Schaltungen

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Matthias Thiele

Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler Schaltungen

Series: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik

Volume 395 2017

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Entwicklungstrends bei digitalen Schaltungen S. 40-46

„… steigenden Stromdichten. Bereits unter Beibehaltung der aktuellen Stromdichtegrenzen führt diese Entwicklung …” „… beschrieben. 2014 2016 2018 2024 0,1 1 10 2020 20262022 relative Stromdichte relative Frequenz relative …” „… und Stromdichten für Kupfer bei 105 ◦C Jahr 2016 2018 2020 2022 2024 2026 2028 Gatelänge (nm) 15,34 …”

Gesamtzusammenfassung und Ausblick S. 125-131

„… Stromdichtegrenzwerte bei gleichzeitig steigenden für den Betrieb erforderlichen Stromdichten zur Folge. Dieser Trend …” „… benötigte Stromdichte der maßgebliche Parameter zur Beschreibung des EM-Risikos, während die erlaubte …” „… Stromdichte durch geeignete Maßnahmen zu steigern ist. Da sich die Stromdichte innerhalb von Leitbahnen nicht …”

Ausgewählte Untersuchungen S. 102-124

„… Stromdichte-Länge-Produkt Schäden entstehen. Die Messung des Produkts jL gilt stets nur für eine konkrete Technologie und …” „… Stromdichte. Weil das Stromdichtefeld keine Divergenz aufweist, liegen die Orte mit Divergenz an den …” „… Diffusionsgleichung auch nur die für die EM verantwortliche Stromdichte bestimmen. Für die Berechnung der Lebensdauer …”

Zielstellung der Arbeit S. 36-39

„… Strukturverkleinerung steigt die durchschnittliche Stromdichte in allen Netzen. Gleichzeitig nimmt die zulässige …” „… Stromdichte in den Leitbahnen ständig weiter ab. Dies hat zur Folge, dass zukünftig auch digitale Schaltungen …” „… , auszunutzen, um die maximal erlaubte Stromdichte zu steigern. Diese Effekte sind technologie- und …”

Grundlagen S. 7-35

„… die Zuverlässigkeit hat und durch hohe Stromdichten verursacht wird. Die geläufige Erklärung für EM …” „… Leitbahnen, • Richtungsänderungen von Leitbahnen, • Ebenenwechseln, • inhomogenen Stromdichten aufgrund von …” „… Rückkopplungen besitzt und sich deshalb selbst beschleunigt (Bild 2.2). So verstärkt die Stromdichte das …”

Methoden für EM-robuste digitale Schaltungen S. 47-101

„… zu zehnfaches Stromdichte-Länge-Produkt. Somit nutzt die Via-below-Konfiguration den Längeneffekt …” „… Stromdichte-Länge-Produkte vergrößern (Bild 5.18). Dabei ist durchschnittlich bei gleicher Stromdichte eine Steigerung der …” „… direkten Einfluss auf die Stromdichte hat. Daneben hängt auch die Gefügestruktur der Leitbahn (siehe …”

Einleitung S. 1-6

„… die für die Untersuchung des Elektromigrationsverhaltens wichtigen Parameter, wie die Stromdichte oder …” „… Maß reduziert werden. Dies hat zur Folge, dass die erforderlichen Stromdichten mit jeder …” „… Querschnittsflächen der Leitbahnen auch deren erlaubte Stromdichten. Der hauptsächliche Ausfallgrund für Leitbahnen …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-X

„… – Verdrahtung – Stromdichte – Blech-Länge – CNT – Semiconductor Roadmap Elektromigration ist momentan einer der …” „… steigende Stromdichten bei sinkenden Leiterquerschnitten. Dadurch sinkt die Zuverlässigkeit der Leitbahnen …” „… Stromdichten bei sinkenden Leiterquerschnitten. Dadurch sinkt die Zuverlässigkeit der Leiterbahnen. Mit dieser …”

Glossar S. 132-133

„… hergestellt wird Elektromigration (EM) Diffusionsprozess, der durch hohe elektrische Stromdichten ausgelöst …”

doi.org/10.51202/9783186395092

Steve Bigalke - Erhöhung der Elektromigrationsrobustheit in der Verdrahtung digitaler Schaltungen

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Steve Bigalke

Erhöhung der Elektromigrationsrobustheit in der Verdrahtung digitaler Schaltungen

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 472 2020

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Einleitung und Motivation S. 1-7

„… und zum anderen ein gleichzeitiges Absenken der Stromdichtegrenzwerte. Die Stromdichte ist trotz …” „… für die EM sind zu hohe Stromdichten in den Leiterbahnen. Diese bewirken vermehrte Impulsübertragungen …” „… nur die sehr gute Kühlung eines ICs ermöglicht diese Stromdichten. Ohne eine ausreichende …”

EM-Berücksichtigung im Layoutentwurf S. 8-38

„… Stromdichteerholungswert ist über die Differenz zwischen durchschnittlicher positiver und negativer Stromdichte (javg,+ bzw …” „… ; TL02]. 8 2 EM-Berücksichtigung im Layoutentwurf EM FWFE j Abb. 2.1: Hohe Stromdichten (j) führen …” „… spezifischen Widerstand (ρ) und der Stromdichte (j) wie folgt berechnet werden [Kin10]: FEM FE + FW eZ …”

EM-Modellierung von digitalen Verdrahtungsstrukturen S. 43-70

„… Größen, wie die Stromdichte (j) und die hydrostatische mechanische Spannung (engl. hydrostatic stress …” „… EM-Belastung und eine gute Integrierbarkeit. Ziel dieser Layoutanalyse ist die Ablösung der Stromdichte als …” „… . Innerhalb einer geraden Leiterbahn lässt sich die Stromdichte mit einer Ansatzfunktion zweiter Ordnung …”

Gesamtzusammenfassung, Schlussfolgerung und Ausblick S. 138-142

„… Stromdichte 2018 2020 2022 2024 2026 2028 0,1 1 10 100 Jahr St ro m di ch te in M A cm −2 angenommenes Ziel …” „… Lösung EM-Lösungen EM-Schädigungen Stromdichte Jahr St ro m di ch te in M A cm −2 vorhergesagter Verlauf …” „… Stromdichte und der hydrostatischen mechanischen Spannung (engl. hydrostatic stress, kurz: Stress) belegte …”

Maßnahmen zur EM-Vermeidung S. 71-99

„… somit die Stromdichte (j) und vor allem die hydrostatische mechanische Spannung (engl. hydrostatic …” „… Veränderungen der Leiterbahnen und Vias zielen entweder auf eine Senkung der Stromdichte oder eine Verkürzung …” „… gleiche Stromdichte, jedoch sind sie in der Verdrahtungsvorhersage unterschiedlich lang. Aus Sicht der …”

Index S. 145-146

„… Widerstand 9, 11 Stress 12, 44, 71, 102, 140 Stressmigration 13, 52 Strom 30, 64, 67 Stromdichte 9, 11, 23 …” „… , 44, 58, 64, 71, 84, 85 Stromdichteerholungswert 20 Stromdichteexponent 23, 24 Strom-Erholungsmodell …”

Glossar S. 143-144

„… Stofftransport, welcher durch hohe Stromdichten ausgelöst wird und Stress in Leiterbahnen verursacht. Fehlstelle …”

Zielstellung der Arbeit S. 39-42

„… die steigenden Stromdichten durch die Anhebung der Grenzwerte ermöglichen, um die Zuverlässigkeit der …”

EM-robuste Verdrahtung S. 100-137

„… Begrenzung der Leiterbahnlänge führt auch die Reduzierung der Stromdichte zurAbschwächungder EM.Die …” „… Stromdichte kann reduziertwerden, indem man, wie in Abschnitt 5.7 beschrieben, EM-relevante Leiterbahnen auf …” „… Querschnittsfläche auf M4 die Stromdichte senkt und somit auch die EM-Gefahr reduziert. Die Vias müssen teilweise …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XIV

„… Verluststrom A ®J Teilchenstromdichte m−2 s−1 ®j Stromdichte A m−2 jacr Stromdichteerholungswert A m−2 K Knoten …” „… Stromdichteexponent nVias Viaanzahl - Ω Atomvolumen m ρ Spezifischer elektrischer Widerstand Ωm PBlech Blech-Produkt A …”

doi.org/10.51202/9783186472205

Christian Bödeker - Extrinsische und intrinsische Beeinflussungen des Verhaltens von Siliziumkarbid-Leistungshalbleiter-bauelementen

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Christian Bödeker

Extrinsische und intrinsische Beeinflussungen des Verhaltens von Siliziumkarbid-Leistungshalbleiter-bauelementen

Series: Elektrotechnik

Volume 419 2019

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Sperr- und Schaltverhalten von Dioden S. 53-81

„… ‐ nahme der Feldstärke E mit der Sperrspannung UR. Dieses wurde in der Berechnung der Leck‐ stromdichte JR berücksichtigt. Bild 4.3: Berechnete Leckstromdichten einer SiC‐SBD mit ϕB …” „… ‐ stromdichte und wird negativ. Allerdings ist anzumerken, dass die Leckstromdichten JR in der Spannungsregion, in der die Änderung des Temperaturkoeffizienten auftritt, sehr hoch sind …” „… ‐ stromdichten bei einer höheren Schottky‐Barriere ϕB beziehungsweise einer konstant reduzier‐ ten Feldstärke E der Diode gemäß [HKWI03] in Abhängigkeit der Temperatur in 25 °C‐Schritten 0 …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-XIV

„… Junction Field Effekt Transistor, Sperrschichtfeldeffekttransistor JF, jF Stromdichte im Durchlassbetrieb einer Diode JGeneration Generationsleckstromdichte …” „… Formelzeichen und Abkürzungen IX ITest Teststrom J, j Stromdichte JFET …”

Grundlagen der Siliziumkarbid-Bauelemente S. 3-20

„… Schottky‐Barriere ϕB bestimmt unter anderem die Leck‐ stromdichte JR durch die Sperrschicht (Gleichung 4 [HaSh …”

Messtechnik S. 21-52

„… im Inneren des hohlen Trägerröhrchens keine Stromdichte J auftritt. Da die vom unteren …”

doi.org/10.51202/9783186419217

VDI Wissensforum GmbH - Gleit- und Wälzlagerungen 2019

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VDI Wissensforum GmbH (ed.)

Gleit- und Wälzlagerungen 2019

Series: VDI-Berichte

Volume 2348 2019

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F. Steinweg, A. Mikitisin WEA/WEC-Bildung in ölgeschmierten Wälzkontakten – Einfluss von elektrischem Strom und Schlupf S. 257-272

„… Einteilung der Stromdichten in drei Kategorien: (1) Unkritischer Zustand mit J < 0,1 bis 0,3 A/mm², (2 …” „… konstanten Drehzahl von n = 1450 min -1, konstanten Schlupfwerten von 0 und % und elektr. Stromdichten von …” „… elektrischen Stromdichte von 0,1 A/mm² die Hertzsche Pressung schrittweise von 1900 MPa bis auf 1050 MPa …”

M. Neu, A. Harder, E. Kirchner Sensorische Eigenschaften von Wälz- und Gleitlagerungen – Beherrschen von Unsicherheiten von und durch die Zusatzfunktion S. 183-192

„… von Schadensfolgen infolge zu hoher Stromdichten, wie beispielsweise bei Prashad in [3]. Erste …”

doi.org/10.51202/9783181023488

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HLH

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HLH Volume 74 (2023) Issue 07-08 ISSN Online: 1436-5103

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Jovan Mitrovic Wärmeverlust einer ebenen Wand S. 35-37

„… Wärme-stromdichte der isolier-ten Wand dar. Grafik: Mitrovicder Betrachtungen ist die Ermittlung ei-ner …” „… Wärme-transport durch die Wand. Die Wärme-stromdichte q (Gleichung 9) ist in diesem Fall maximal, oder in …” „… Wärme-stromdichte der nicht isolierten Wand durch Isolierung auf 20 Prozent reduziert wird. Im zweiten Fall soll die …”

doi.org/10.37544/1436-5103-2023-07-08

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