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Axel Hald - Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

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Axel Hald

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen

Series: Rechnerunterstützte Verfahren

Volume 473 2020

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Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung S. 115-131

„… 7 Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung Für …” „… bildet das dynamische Verhalten durch eine Sequenz von (quasi-statischen) Elektrostatik-Analysen ab …” „… . Dabei repräsentiert eine einzelne Elektrostatik-Analyse innerhalb der Sequenz einen Auslenkungs-Zustand …”

Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3DField- Solvern basierenden Elektrostatik-Analyse S. 51-70

„… Elektrostatik-Analyse Für die Entwicklung zuverlässiger und robuster MEMS-Elemente ist eine neue Methode für die …” „… Elektrostatik-Analyse notwendig. Damit sich zuverlässige Aussagen über die elektrostatischen Eigenschaften eines …” „… hochoptimierter MEMS-Elemente. Ein naheliegender Ansatz wäre, eine hochgenaue Elektrostatik-Analyse mit einer …”

Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung S. 132-137

„… 8 Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler …” „… Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung Die quasi-elektrostatische Analyse (Kapitel 7) kann man …” „… Zustände Ausgelenkte Zustände Elektrostatik-Analyse Strukturerkennung Regelbasierte Stukturerkennung …”

Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben S. 138-140

„… genaue 3D-Field-Solver-basierte Elektrostatik-Analyse liefert (Abb. 9.1, Mitte). Durch die entwickelte …” „… genaue Elektrostatik-Analyse von MEMS-Elementen einzusetzen. Die 2,5D-Prozess- Simulation wurde in dieser …” „… Polygone beschrieben. Dies führt dazu, dass sich die Polygone in einer Elektrostatik-Analyse nur den in der …”

Titelei/Inhaltsverzeichnis S. I-VIII

„… Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen SE …” „… RV ER Technische Universität Dresden Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in …” „… – Elektrostatik-Analyse – MEMS-Entwurf – Field-Solver – polygonbasierter Entwurf – parasitäre Kapazität – Prozess …”

Präzisierung der Aufgabenstellung S. 48-50

„… Elektrostatik-Analyse notwendig. Hierfür werden in dieser Arbeit Methoden zur Modellierung von MEMS-spezifischen …” „… Elektrostatik-Analyse der Chip-Geometrie mit einem kommerziellen 3D-Field-Solver ermöglichen (Abb. 4.1, Mitte (blau …” „… Regeln Daten Prozess 3D-Modell für Elektrostatik-Analyse Elektrostatik-Analyse …”

MEMS-Entwurf S. 25-47

„… ) eingesetzten Methoden allgemein beschrieben. In Abschnitt 3.3 ist die Elektrostatik-Analyse als Bestandteil des …” „… dieser Arbeit für die Entwicklung neuer Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in …” „… ) - Elektrostatik-Analyse Mechanik-Entwurf Chip-Entwurf Spezifikation System- Simulationen - Schaltplan - Simulation …”

Einleitung S. 1-9

„… Elektrostatik-Analyse überprüft werden. Falls die parasitären Kapazitäten die Anforderungen nicht erfüllen, muss man …” „… Wirksamkeit der vorgenommen Anpassungen ist eine erneute Elektrostatik-Analyse durchzuführen. Die …” „… Elektrostatik-Analyse des MEMS-Elements, die dessen elektrostatische Eigenschaften, bestehend aus Kapazitäten (C) und …”

Methode zur polygonbasierten Schaltplan-Extraktion mit einer regelbasierten Strukturerkennung S. 71-114

„… ). Aus diesem Grund lassen sich bei der Elektrostatik-Analyse mit den bislang verfügbaren Werkzeugen …” „… Elektrostatik-Analyse eines kapazitiven Beschleunigungssensors (vgl. Abb. 1.5) nur die gesamten Koppelkapazitäten …” „… Extraktions- Ergebnissen repräsentiert werden. Dadurch sind die von der Elektrostatik-Analyse extrahierten …”

Glossar S. 141-144

„… Chip-Geometrie berechnen. Diese wird benötigt für die quasi-elektrostatische Analyse dynamischer parasitärer …” „… werden. 22, 115, 141 Elektrostatik-Analyse Die Elektrostatik-Analyse berechnet für eine gegebene Struktur …” „… , 10, 11]. 13 Relative Abweichung Die relative Abweichung bei der Elektrostatik-Analyse beschreibt die …”

Kapazitive MEMS-Inertialsensoren S. 10-24

„… Kapazitäten genau zu charakterisieren, wofür eine präzise und effiziente Methode zur Elektrostatik-Analyse …” „… motiviert sich die Entwicklung neuer Methoden zur Elektrostatik-Analyse, die im Rahmen dieser Arbeit …” „… „Antriebs-Schwingung“ wird durch die elektrostatische Kraft erzeugt, indem man an ineinandergreifende Elektroden-Kämme …”

doi.org/10.51202/9783186473202

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C2 Deutschland

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C2 Deutschland Volume 15 (2021) Issue 89 ISSN Online: 2366-6943

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So einfach zu lesen wie ein Buch! S. 25-26

„… Elektrostatik besser zu verstehen – und damit besser zu erkennen, besser zu kontrollieren und besser zu …” „… das Unternehmen weiter in Richtung Zukunft. Denn Elektrostatik in allen seinen Facetten heute …” „… . Wie Elektrostatik heute am besten eingesetzt werden kann, erklären die Experten von Meech …”

Martin Hirschmann Inmitten von Umzugskisten S. 3

„… readers with analyses of the latest market trends: most recent industry news independently researched …” „… BAHNINSPEKTION, MESS- & PRÜFTECHNIK 22 Der Elektrostatik- Werkzeugkoffer für Profis Eltex-Elektrostatik GmbH …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2021-89

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C2 Deutschland

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C2 Deutschland Volume 16 (2022) Issue 96 ISSN Online: 2366-6943

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„Swiss Quality“ überzeugt die Kunden S. 32-33

„… auch unsere Elektrostatik- und Bahnreinigungs-systeme entwickelt, montiert und in die ganze Welt …” „… Elektrostatik-Komponenten, Bahnrei-nigungsmodule und Schnittstaubabsaughau-ben in der Schweiz gefertigt werden. Unsere …” „… ! Unsere Elektrostatik-Produkte iONstream 4.0 und iONcharge 4.0 sind innert wenigen Arbeitstagen …”

doi.org/10.51202/2366-6943-2022-96

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VDI-Z

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VDI-Z Volume 163 (2021) Issue 04 ISSN Online: 0042-1766

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Daniel Arnold, Marc Dittrich, Berend Denkena Auftragslokalisierung erhöht die Fertigungstransparenz S. 59-62

„… - und arbeitsgangabhängig erfasst. Dies sorgt für detaillierte Analysen der operativen Vorgänge in der …” „… – Öl- oder Kühlschmierstoffnebel, Stäube und Rauch: Mechanische und elektrostatische …” „… , Großraumbüros, Kantinen und Warteräumen zu empfehlen. Zusätzlich haben elektrostatische Filtrationssysteme …”

doi.org/10.37544/0042-1766-2021-04

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O+P Fluidtechnik

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OUP Volume 68 (2024) Issue 1-2 ISSN Online: 2747-8009

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Philipp Krenkel, Dirk Becker, Timo Lang Verschmutzungsbedingte Ausfälle vermeiden S. 16-18

„… egemaßnahmen genutzt werden. Mit dem Fluid Care Portal bietet Hydac problemorientierte Analysen und …” „… anreichern. Eine weitere Ursache für die Ölalterung sind elektro-statische Entladungen. Neuartige …” „… kann es zu elektrostatischem Au aden kommen.NOTWENDIGE FLUIDPFLEGEMASSNAHMENDie Maßnahmen, um Fluide so …”

doi.org/10.51202/2747-8009-2024-1-2

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