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„… ermöglichen, die Field-Solver aus dem Elektronik-Entwurf auch für die MEMS-typischen 3D-Strukturen einsetzen …” „… Voraussetzung für den Einsatz kommerzieller Field-Solver aus dem Elektronik-Entwurf für eine effiziente …” „… D-Field-Solver s. Derartige Werkzeuge werden bereits bei der Elektrostatik-Analyse integrierter Schaltkreise …”

„… Einsatz eines Field-Solvers aus dem Elektronik- Entwurf als bester Ansatz für eine schnelle und präzise …” „… Field-Solver aus dem Elektronik- Entwurf ist eine effiziente Modellierungs-Methode für die MEMS-typischen …” „… 5 Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3D-Field-Solvern basierenden …”