„… : Entwurfsautomatisierung – Analog- und Mixed-Signal-Entwurf – System entwurf – Schaltungsentwurf – Layoutentwurf …” „… is the large number of constraints that have to be taken into account during AMS IC design. They are …” „… production of the IC can begin. The aim of this work is to present our findings regarding the formalization …”

„… Bild 1: Idealer Ablauf von Idee & Entwurf über Prototyp & Test zum zuverlässigen IC VDI-Berichte Nr …” „… [6]-[8]. Sie ergänzen gemäß Bild 4 den ohnehin üblichen Ablauf zur Verifikation im IC-Entwurf, beim dem …” „… : Prinzipieller Ablauf der Alterungssimulation im IC-Entwurf VDI-Berichte Nr. 2377, 2021178 ? d ⎩⎪ ⎨ ⎪⎧ ? ⋅ exp …”

„… Schaltplan, wie er bei der Elektrostatik-Analyse im IC- Entwurf gebräuchlich ist, kann daher nicht …” „… MEMS Beim Entwurf von MEMS muss hinsichtlich der Entwurfsdomänen ein heterogenes System gehandhabt …” „… werden, welches wiederum heterogene Teilsysteme enthält (Abb. 1.3). Für den Entwurf hochoptimierter MEMS …”

„… IC-Entwurf. Mit einem neuartigen Verfahren zur Strukturerkennung lassen sich diese Werte, vergleichbar zu …” „… – Elektrostatik-Analyse – MEMS-Entwurf – Field-Solver – polygonbasierter Entwurf – parasitäre Kapazität – Prozess …” „… - Simulation – Quasistatische Analyse – regelbasierte Strukturerkennung Im Entwurf von mikroelektromechanischen …”

„… parametrisierte Polygon-Generatoren (ähnlich zu PCells im IC-Entwurf [65]) zum Einsatz, die elementare Komponenten …” „… 3 MEMS-Entwurf Wie bereits in Abschnitt 1.1 erläutert, besteht ein mikroelektromechanisches System …” „… mikroelektronischen Element (ASIC-Element). Aufgrund der sehr hohen Komplexität im Entwurf (vgl. Abschnitt 1.2 …”

„… Prozess-Schritte wie bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (engl. IC, integrated circuit) zum Einsatz …” „… Schicht 2 Via Dielektrikum IC MEMS Abbildung 2.5: Elektrische Verbindung zwischen zwei Schichten. Oben …” „… es für einen robusten MEMS- Entwurf notwendig, eine neue Analyse-Methode zur Erfassung dieser …”

„… 42 4 Motivation und Ziele der Arbeit Da es im analogen IC-Entwurf bisher noch keine industriellen …” „… von der umzusetzenden Schaltungsfunk-tion abhängige, Entscheidungen im Entwurf zu treffen. Dies …” „… Unterstützung auch kleiner Technologieknoten ist jedoch, dass die jeweiligen, immer komplexen Entwurfs …”

„… Dokumentation: Entwurfsautomatisierung – EDA – Layout – Analog – Integrierte Schaltungen – IC-Entwurf …” „… – integrated circuits – IC design – generators – templates – design flow – placementDer Entwurf analoger …” „… 1.3 Generator-Methode zur Unterstützung des Entwurfs …”

„… IC-Entwurf für fast alle Anwendungsbereiche, ggf. angepasst, zum Einsatz [52][52, S. 4 ff.]. Sie wird auch …” „… weiterhin die dominante Rolle im IC- 23 Entwurf spielen [50][50, S. xxix]. Daher bezieht sich die …” „… Arbeit notwendigen Begriffe und Grundlagen. Der klassische manuelle Entwurf wird eingeführt und es folgen …”

„… der Automatisierung des analogen IC-Lay-out-Entwurfs. Dafür wird zwischen optimierungsbasierten …” „… Entwurf moderner Mikrochips ist die Entwurfsautomatisierung essenziell, denn nur der rechnergestützte …” „… Entwurf kann diese hohe Komplexität kosteneffizient und in hinreichend kurzer Zeit für eine kurze …”

„… mechanical disturbances. N S control Ic ~ FG Waagschale Übertragungshebel ParallellenkersystemFG z …” „… werden kann [1]. G(s)C(s)r=0 e Ic Gd(s) Fwp Upos Regler Strecke Störung Bild 2: Übertragungsfunktion …” „… Kompensationsstrom Ic ergibt sich aus der Störübertragungsfunktion Gd, der Streckenübertragungsfunktion G und der …”