„… Mikro-meter erlaubt. Eine Übersicht über verschiedene Resist-Sys-teme zeigt Tabelle 1. Höchste …” „… Abmessungen der optischen Lage betragen 370 mm x 100 mm. Die Wellenleiter haben einen Querschnitt von 70 µm x …” „… Universität Dortmund im Labormaßstab ent -wickelte Herstellungsprozess für optische Wellenleiter aus …”

„… Wellenleitern bis zum Wachstum und Ätzen ver-schiedener Kristallschichten. Doch gerade diese Herausforderung war …” „… ultraviolet-tem Licht –, die modernste Halbleiterchips für Smartphones und Computer ermöglicht. „Diese Mentalität …”

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„… den Funktionserhalt des Gesamtsys-tems spielen eine wesentliche Rolle. Bei mechanischen Komponenten …” „… Licht-wellenleiter-Technologie aufsetzt. Je nach Bedarf wird das Gebäude mit modernen Sensoren ausgerüstet, die …” „… neues Nahwärmesys-tem umgestellt werden. Dieses sollte die Versorgung mit Blockheizkraftwerken und …”

„… beugungsbegrenzte Intensitätsverteilung des Messpunktbilds wird durch einen TEM00-Mode mit Taillenradius ? m …” „… erfolgt durch eine TEM01*-Mode mit dem Strahlradius ? a. Die Umrechnung in die Photonenflussdichten …” „… einfallenden Intensitätsverteilung relevant ist, kann eine parabolische Approximation des Gauß’schen Fokus (TEM …”

„… Laser-Doppler-Vibrometer-Mikroskops D iodenlaser- Treiber Tem peratur- R egler Tem peratur- R egler D iodenlaser- Treiber PST FI PST …” „… . Eine Verbesserung des Strahlprofils könnte durch eine Raumfilterung in einem optischen Wellenleiter …”