Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers
Zusammenfassung
ln vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. ln weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfahren fünf Funktionsmodelle eines Mikrotropfenerzeugers hergestellt werden.
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Schlagworte
Drop-on-Demand Druckkopf Funktionsmodell Lasermikrobearbeitung Mikrofertigung Mikrofluidik Mikromontage Mikrosystemtechnik Rapid Manufacturing Rapid Prototyping- Kapitel Ausklappen | EinklappenSeiten
- 30–30 6. Abgrenzung 30–30
- 31–55 7. Eigener Ansatz 31–55
- 57–75 9. Realisierung 57–75
- 122–134 13. Literaturverzeichnis 122–134
