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Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen / Titelei/Inhaltsverzeichnis
Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen / Titelei/Inhaltsverzeichnis
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I–VIII
Titelei/Inhaltsverzeichnis
I–VIII
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1–9
1 Einleitung
1–9
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1.1 Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)
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1.2 Entwurfsprozess für MEMS
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1.3 Ziele der Arbeit
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10–24
2 Kapazitive MEMS-Inertialsensoren
10–24
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2.1 Basis-Prozesstechnologie für Oberflächenmikromechanik
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2.2 Aufbau kapazitiver MEMS-Inertialsensoren
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2.2.1 Beschleunigungssensor: Aufbau und Funktionsprinzip
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2.2.2 Drehratensensor: Aufbau und Funktionsprinzip
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2.2.3 Statische und dynamische Kapazitäten
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2.3 Zusammenfassung
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25–47
3 MEMS-Entwurf
25–47
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3.1 Entwurf der mikromechanischen Strukturen
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3.2 Entwurf der Chip-Geometrie
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3.3 Aktueller Stand der Elektrostatik-Analyse
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3.4 MEMS-Entwurfsprozesse
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3.4.1 Bibliotheksbasierter Entwurfsprozess ausgehend von einer Geometrie- Beschreibung
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3.4.2 Bibliotheksbasierter Entwurfsprozess ausgehend von einer Schaltplan- Beschreibung
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3.4.3 Polygonbasierter Entwurfsprozess
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3.4.4 Vergleichende Betrachtung der Entwurfsprozesse
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3.4.5 Bewertung der Entwurfsprozesse hinsichtlich ihrer Einsetzbarkeit
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3.5 Zusammenfassung
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48–50
4 Präzisierung der Aufgabenstellung
48–50
Details
51–70
5 Methoden zur Modellierung von MEMS-Prozessen für eine auf 3DField- Solvern basierenden Elektrostatik-Analyse
51–70
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5.1 MEMS-spezifische Elektostatik-Analyse basierend auf 3D-Field-Solvern
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5.2 2,5D-Prozess-Simulation
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5.2.1 Modellierung: Reaktives Ionentiefenätzen
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5.2.2 Modellierung: Gas-Phasen-Ätzen
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5.2.3 Modellierung: Topographie im Schichtaufbau
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5.3 Demonstration
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5.4 Verifikation der Extraktions-Ergebnisse
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5.5 Zusammenfassung
Details
71–114
6 Methode zur polygonbasierten Schaltplan-Extraktion mit einer regelbasierten Strukturerkennung
71–114
Details
6.1 Grundlegende Idee und Einordnung in den Extraktions-Fluss
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6.2 Regelbasierter Strukturerkennungs-Algorithmus
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6.2.1 Eingabe
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6.2.2 Architektur-Analyse
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6.2.3 Definition der Topologie-Elemente mit ihren zugehörigen Regeln
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6.2.4 Ableitung der Topologie-Elemente und Regeln bezüglich einer spezifischen Architektur
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6.2.5 Segmentierung der Chip-Geometrie in Topologie-Elemente durch Anwenden der abgeleiteten Regeln
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6.2.6 Ausgabe
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6.3 Elektrostatische RC-Analyse und Ersatzschaltplan-Synthese
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6.4 Demonstration
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6.5 Verifikation der Extraktions-Ergebnisse
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6.6 Zusammenfassung
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6.7 Anhang zu Kapitel 6
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115–131
7 Methode zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung
115–131
Details
7.1 Grundlegende Idee und Einordnung in den Extraktions-Fluss
Details
7.2 Auslenkungs-Algorithmus
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7.3 Demonstration
Details
7.4 Verifikation
Details
7.5 Zusammenfassung
Details
132–137
8 Kombination der Methoden zur Analyse bewegungsabhängiger elektrostatischer Effekte bei lateraler Auslenkung mit der regelbasierten Strukturerkennung
132–137
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8.1 Demonstration
Details
8.2 Zusammenfassende Bewertung
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138–140
9 Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben
138–140
Details
141–144
Glossar
141–144
Details
145–154
Literaturverzeichnis
145–154
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Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen , page I - VIII
Titelei/Inhaltsverzeichnis
Autoren
Axel Hald
DOI
doi.org/10.51202/9783186473202-I
ISBN print: 978-3-18-347320-5
ISBN online: 978-3-18-647320-2
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